Katalog Catalogue 2012

Transcription

www.adl-gmbh.com
Katalog
Catalogue
2012
+ DC-Power Supplies + Pulsed DC Generators
+ Middle Frequency + Bipolar Generators
ADL Analoge & Digitale
Leistungselektronik GmbH
Bunsenstraße 30
D 64293 Darmstadt / Germany
Tel. +49 (0) 6151 860 72-0
Fax +49 (0) 6151 860 72-70
DC-Power Supplies - Pulsed DC Generators - Middle Frequency - Bipolar Generators
ADL - Leistungselektonik
“Made in Germany”
ADL – Power Electronics
ADL ist Entwickler und Hersteller von Stromversorgungen und Generatoren für Dünnfilmbeschichtung sowie Leistungselektronik
für spezielle Industrieanwendungen und Forschungseinrichtungen.
ADL is developer and manufacturer of power
supplies and generators for thin film coating, as
well as for power electronics for special
industrial applications and research institutes.
1992 wurde die ADL Analoge & Digitale
Leistungselektronik GmbH in Riedstadt / Hessen
gegründet.
2001 eröffnete ADL einen zweiten Standort in
Groß-Gerau, um die Produktionskapazitäten zu
vergrößern.
2011 erfolgte der Umzug beider Standorte nach
Darmstadt (nahe Frankfurt/Main) in ein wesentlich größeres Firmengebäude.
Unsere Produkte sind bekannt für ihre Zuverlässigkeit, Langlebigkeit und hohe Fertigungsqualität, aber auch für technisch innovative Konzepte.
Wir nehmen die Bezeichnung „Made in Germany“
ernst und verfügen über eine sehr umfangreiche
eigene Fertigung, vom Bau von Transformatoren
über die Kabelkonfektionierung, die Elektronikbestückung, die Baugruppenfertigung und
Endmontage bis zur eigenen Mechanikfertigung
mit modernsten CNC-Maschinen.
Prozess 1992 ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik
GmbH was founded in Riedstadt / Hessen.
2001 ADL opened a second plant in Groß-Gerau
to enlarge the production capacities.
2011 both locations moved to the city of Darmstadt (near Frankfurt/Main) into a much larger
factory building.
Our products are well known for their reliability, longevity and highest production quality, as
well for very innovative technical concepts. We
take the designation „Made in Germany“ very
seriously: ADL has a very broad own production,
such as the manufacture of transformers, cable
termination, module assembling, final mounting,
PCB-mounting and our own mechanical production with modern CNC machines.
ADL PowerSupplies Process
Sputtern, Ätzen, Ionenquellen DC Power Supplies Sputtering, Etching, Ion Sources
Aufdampfen, Hg-Lampen, Heizen
AC Power Supplies*
Evaporation, Hg-Lamps, Heating
Reaktiv Sputtern Pulsed DC Generators Reacitve Sputtering
Reaktiv Sputtern,
Großflächenbeschichtung
Middle Frequency and bipolar Generators Reactive Sputtering,
Large Area Coating
Magnetfeldmodulation
AM Generators* Magnetic Field Modulation
* Auf Anfrage * On Request
ADL Leistungselektronik für höchste Anforderungen
ADL Power Electronics for highest demands
Innovativ, kompakt, solide - von 1992 bis 2012 und in Zukunft
innovative, compact, clear design - from 1992 until 2012 and in
the future
1992
TS 30
HX 300
2012
The series TS is not build any longer,
but power supplies are still running world wide
Zuverlässige Kühlung auch bei
hohen Umgebungstemperaturen
Reliable cooling - even in hot
ambient temperature
Stabile Gehäuse
Stable housing
„Plug and Play“ Einfache Bedienung
durch automatisierte Funktionen
„Plug and Play“ Easy handling
through fully automatic functions
Übersichtliche Information durch LEDDigitalanzeigen
Clear information through LEDdigital display
Sichere Verbindung und schnelle Montage
durch genormte Industriesteckverbindungen
Save connection and fast mounting through
standardized industry connectors
3
Neben unseren Seriengeräten bieten wir auch kundenspezifische Sondergeräte
an, die in diesem Katalog nicht enthalten sind.
Additionally to the series production ADL also offers special power supplies on
customer request, which are not in this catalogue.
4
Luftgekühlte DC-Stromversorgungen 0,5 bis 15kW
Air cooled DC-Power Supplies 0,5 up to 15kW
Serie Series GS 05 - GS 30
Serie Series GS 60 - GS 150
6-9
10 - 12
Wassergekühlte DC-Stromversorgungen 5 bis 30kW
Water cooled DC-Power Supplies 5 up to 30kW
Serie Series GX 50 - GX 150
Serie Series GSW 100 - GSW 300
Serie Series HX 150 - HX 300
14 - 17
18 - 24
26 - 30
Stromversorgungen für Ionenquellen
Power Supplies for Ion Sources
GG 03, GG 03.1 Accelerator and GG 12, GG 12.1 Beam
GIP 10, GIP 10.1 Neutralizer
GDI 09 Discharge
GC 10 Cathode
32 - 34
32 - 35
32 - 35
32 - 36
Unipolar Pulsgeneratoren
Unipolar Pulse Generators
RD 300
SD 150 – SD 300
38 - 39
40 - 42
Mittelfrequenzgenerator / Bipolar Pulsgenerator
Middle Frequency Generator / Bipolar Pulse Generator
SB 300
44 - 46
ADL Zubehör
ADL Accessories
Interfaces48
Interface Combiner
48
Master Oscillator
48
Plugs49
Couplings for Water Cooling
49
Magnetic Valve
49
Remote Control
50
Cathode Clamp Diode
50
Cable50
Sales and Sercice addresses worldwide
51
5
Luftgekühlte DC-Stromversorgungen
Air-cooled Power Supplies
DC-Stromversorgungen
GS 05 - GS 30
Die kompakten Geräte sind für kleinere
Magnetrons in Produktions- und Laboranlagen
entwickelt worden. Durch die einfache und
sichere Bedienbarkeit können die Stromversorgungen sehr flexibel eingesetzt werden.
Das Arc-Handling paßt sich unterschiedlichen
Prozeßparametern automatisch an, so daß kein
Programmieraufwand notwendig ist. Die Geräte
sind für den Einbau in 19“-Baugruppenträger
konzipiert.
Active Frontpanel
***Highlights
* Output power 0.5 - 3.0kW
* Air cooling
* ½ 19“–case, 3 HU
* Interchangeable interfaces
* Display for voltage, current and power
* Manual operation via frontpanel
* Automatic Arc-Handling
Passive Frontpanel
DC-Power Supplies GS 05 - GS 30
The compact power supplies were developed
for magnetrons in production plants and laboratories. Easy and safe operation makes these
power supplies very flexible for many processes.
The arc-handling adjusts automatically to different process parameters, so that programming
is not necessary. The units are designed for the
mounting in 19“-racks.
Rear view
6
Customer Contact /Germany:
Jürgen Würtenberger. Customer Consultant.
E-Mail: [email protected]
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Variations
Type
DC-Output
Order-No.
GS 05/800
0,5kW
800V
0,9A
03Z040
GS 10/800
1,0kW
800V
1,7A
03Z090
GS 15/800
1,5kW
800V
3A
03Z140
GS 20/800
2,0kW
800V
3,5A
03Z190
GS 30/800
3,0kW
800V
5,3A
03Z240
GS 05/1000
0,5kW
1000V
0,7A
03Z050
GS 10/1000
1,0kW
1000V
1,4A
03Z092
GS 15/1000
1,5kW
1000V
2,4A
03Z150
GS 20/1000
2,0kW
1000V
2,8A
03Z200
GS 30/1000
3,0kW
1000V
4,2A
03Z250
GS 12/2000
1,2kW
2000V
1A
03Z110
Options and Accessories
Order-No.
Interface AS 4
01Y001
Profibus Interface 6.408
01Y101
01Y151
Connecting Cable for RS 232 (Profibus)
06Y005
Frontpanel active with 3 1/2 Digit Display
02Y020
Front Panel passive with3 1/2 Digit Display
02Y021
Line Voltage 3 x 200 V *
10Y015
Output Voltage floating **
10Y020
19“ Mounting Frame for 2 Units
02Y030
* Only GS 15 and GS 20
** Only GS 15, GS 20 and GS 30
7
Technical Data GS 05 – GS 30
Nominal power
GS 05/800
GS 10/800
GS 15/800
GS 20/800
GS 30/800
0,5kW
1kW
1,5kW
2kW
3kW
800V Plus pole grounded
Output voltage
Output current
Option:
Minus pole grounded
0,9A
1,7A
Control
Modes of operation
Option:
Floating
3A
3,5A
5,3A
Current, voltage or power controlled
Manual via front panel or external via A/D interface AS 4,
AS 4 F or Profibus
Set point
0 … 100 % of nominal voltage, current or power
Output accuracy
+/- 1 % of nominal value for voltage, current and power
Arc suppression
Quenching time: 6µs up to 3ms, automatically
Delay time: 6µs up to 10ms, automatically
Indications
3½-digit display for voltage, current and power
Noise emission
Mains connection
Power consumption
Fusing
LpA < 70db (A)
230V, +5/-10 %, 50/60Hz,
(Option: 200V, L1, L2, PE)
Size
Weight
8
(Option: 3 x 200V, only GS 15 and
GS 20), PE
0,6kVA
1,2kVA
1,8kVA
2,4kVA
3,6kVA
6A
6A
6A (10A)
6A (10A)
10A
High voltage connection
Cooling
3 x 400V, +5/-10 %, 50/60Hz,
RG 213
Forced air, maximum ambient temperature 40° C
½ 19” slide-in, 3HU (132,5mm), 560mm deep
11kg
12kg
Nominal power
GS
05/1000
GS
10/1000
GS
12/2000
GS
15/1000
GS
20/1000
GS
30/1000
0,5kW
1kW
1,2kW
1,5kW
2kW
3kW
1000V
2000V
1000V
Plus pole grounded
Output voltage
Output current
Option:
Minus pole grounded
0,7A
1,4A
Control
Modes of operation
Option:
Floating
1A
2,4A
2,8A
Manual via front panel or external via A/D interface AS 4, AS 4 F or
Profibus
Set point
0 … 100 % of nominal voltage, current or power
Output accuracy
+/- 1 % of nominal value for voltage, current and power
Arc suppression
Indications
3½-digit display for voltage, current and power
Noise emission
Mains connection
4,2A
LpA < 70db (A)
230V, +5/-10 %, 50/60Hz,
3 x 400V, +5/-10 %, 50/60Hz,
(Option: 200V, L1, L2, PE)
(Option: 3 x 200V, only GS 15
and GS 20), PE
Power consumption
Fusing
0,6kVA
1,2kVA
1,4kVA
1,8kVA
2,4kVA
3,6kVA
6A
6A
10A
6A (10A)
6A (10A)
10A
High voltage connection
Cooling
Size
Weight
RG 213
½ 19” slide-in, 3HU (132,5mm), 560mm deep
11kg
12kg
9
GS 60 - GS 150
Die luftgekühlten DC-Stromversorgungen der
Serie GS 60 – GS 150 gibt es in drei Bedienvarianten: mit aktivem Frontpanel, mit passivem
Frontpanel und mit Status-LEDs. Die Stromversorgungen können mit voller Nennleistung ohne
Einschränkung der Einschaltdauer betrieben
werden. Der Parallelbetrieb mehrerer Geräte
ist möglich. Die Serie GS 60 – GS 150 verfügt,
wie alle Stromversorgungen von ADL, über eine
extrem schnelle, automatische Arc-Löschung.
Die Bedienung der Geräte ist sehr einfach und
sicher.
Active Frontpanel
***Highlights
* Output power 6.0 - 15kW
* Air cooling
* 19“–case, 3 HU
* Floating output
* Joule mode
Rear view
DC-Power Supplies GS 60 - GS 150
The air cooled DC power supplies of the series
GS 60 – GS 150 are available in three different
versions: with active front panel, with passive
front panel and with status LEDs. The power
supplies can be operated with full nominal power without limitation of the duty cycle. Parallel
operation of several power supplies is possible.
The series GS 60 – GS 150 has, like all power
supplies from ADL, an extreme fast, automatic
Arc-handling. The operation of the power supplies is easy and save.
10
Frontpanel with Status LEDs
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Variations
DC-Output
Type
Order-No.
GS 60/800
6kW
800V
10A
03Z290
GS 80/800
8kW
800V
17A
03Z340
GS 100/800
10kW
800V
17A
03Z390
GS 120/800
12kW
800V
20A
03Z440
GS 150/800
15kW
800V
25A
03Z490
Order-No.
Interface AS 4
01Y001
01Y101
01Y151
06Y005
Frontpanel active with
3 1/2 Digit Display
02Y050
Frontpanel passive with
3 1/2 Digit Display
02Y101
Status-LEDs
01Y010
Plasma Control**
50Y051
Second Voltage Range U1/U2**
10Y010
Joule Mode *
01Y041
Connector set X1/X2 GS/GSC straight
03Y020
Connector set X1/X2 GS/GSC angled
03Y040
* Only with Profibus
** Only with active Frontpanel
11
GS
100/500
GS
60/800
GS
80/800
GS
100/800
GS
120/800
GS
150/800
Nominal power
10kW
6kW
8kW
10kW
12kW
15kW
Output voltage
500V
Output current
25A
20A
25A
800V
10A
Control
Modes of operation
17A
17A
Manual via front panel or external via A/D interface AS 4 or Profibus
Set point
0…100% of nominal current, voltage or power
Output accuracy
+/- 1% of nominal value for current, voltage and power
Arc suppression
Indication
3½-digit display for current, voltage and power
Noise emission
LpA < 70db (A)
Mains connection
Power consumption
Fusing
3 x 400V, +5/-10%, 50/60Hz, PE
11kVA
6,6kVA
9kVA
11kVA
13,2kVA
16,5kVA
20A
16A
16A
20A
25A
25A
Cooling
Size
Weight
Mains cable
Output cable
12
19“, 3HU (132,5mm) 570mm deep
29kg
27kg
29kg
29kg
29kg
31kg
4 x 2,5mm²
4 x 1,5mm²
4 x 1,5mm²
4 x 2,5mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
RG 213U or
3 x 4 mm²
3 x 1,5mm²
3 x 2,5mm²
3 x 2,5mm² 3 x 2,5mm² 3 x 4mm²
Manufacturing Line of ADL Power Supplies ...
PCB-Mounting Department
13
Wassergekühlte DC-Stromversorgungen
Water-cooled Power Supplies
GX 50 – GX 150
GX-Sputterstromversorgungen sind in der Lage,
bis zu 80.000 Arcs pro Sekunde automatisch zu
löschen. Die extreme Leistungsfähigkeit, kombiniert mit kleinen Abmessungen, sind herausragende Kennzeichen der Serie GX. Die Geräte können mit voller Nennleistung ohne Einschränkung
der Einschaltdauer betrieben und auch parallel
geschaltet werden.
GX with Status LEDs
***Highlights
* Output power 5 - 15 kW
* Water cooling
* 1/2 19“–case, 3 HU
* Floating output
* Joule mode
GX open
DC-Power Supplies
GX 50 – GX 150
GX-Sputtering Power Supplies are able to eliminate up to 80.000 Arcs per second automatically.
This extreme capability combined with the small
size of the power supply is outstanding and
significant for the series GX. The power supplies
can be operated with full nominal power without
limitation of the duty cycle and they can also be
switched in parallel.
GX rear view
14
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Variations
Type
DC-Output
Order-No.
GX 50/250
5kW
250V
50A
07Z010
GX 50/800
5kW
800V
14A
07Z005
GX 60/800
6kW
800V
15A
07Z040
GX 80/800
8kW
800V
20A
07Z090
GX 80/1000
8kW
1000V
16A
07Z099
GX 100/400
10kW
400V
38A
07Z141
GX 100/600
10kW
600V
30A
07Z142
GX 100/800
10kW
800V
25A
07Z140
GX 100/1000
10kW
1000V
20A
07Z149
GX 120/200
12kW
200V
60A
07Z151
GX 120/800
12kW
800V
30A
07Z190
GX 150/800
15kW
800V
38A
07Z240
GX 150/1000
15kW
1000V
30A
07Z249
GX Blind case
Order-No.
Duo-GX open, front view
Interface AS 4
01Y001
Interface AS 6
01Y061
01Y001
01Y151
06Y005
Arc-link
10Y100
GX-Status LEDs
01Y071
GX-Display
01Y081
Bias Voltage Control
10Y040
Swagelok-Water Couplings straight
04Y020
Swagelok-Water Couplings angled
04Y040
19“ Mounting angled
01Y095
SMC Water Connectors
04Y100
GX-Connector Set X1/X2 straight
03Y220
GX-Connector Set s X1/X2 angled
03Y240
19“ Mounting Set Duo-GX
03Y091
19“ Mounting Set Single-GX
03Y093
Harting plugs and Swagelok
Water couplings straight
15
Technical Data GX 50 – GX 150
GX
50/250
GX
50/800
GX
60/800
GX
80/800
GX
80/1000
GX
100/400
GX
100/600
Nominal power
5kW
5kW
6kW
8kW
8kW
10kW
10kW
Output voltage
250V
800V
800V
800V
1000V
400V
600V
Output current
50A
14A
15A
20A
16A
38A
30A
Control
Modes of operation
External via A/D interface AS 4, AS 6, AS 4 F or Profibus
Set point
0 ... 100 % of nominal current, voltage or power
Output accuracy
+/- 1 % of nominal value for current, voltage and power
Arc-suppression
Indications
3 ½ digit display for current, voltage and power (Option)
Noise emission
LpA < 70db (A)
Mains connection
Power consumption
Fusing
3 x 400V, +/-10 %, 50/60Hz
6kVA
6kVA
6,6kVA
9kVA
9kVA
11kVA
11kVA
3 x 16A
3 x 16A
3 x 16A
3 x 20A
3 x 20A
3 x 20A
3 x 20A
Water, > 1,5 l/min, 2 to 8 Bar, < 40° C
Cooling
Water connection
Swagelok B-QC 6 …
Cooling capability
of water
300W
300W
300W
400W
400W
500W
500W
Cooling capability of air
45W
45W
45W
50W
50W
50W
50W
½ 19“, 3HU (130mm) x 520mm deep
(without plug), 590mm deep (with plug)
Size
Weight
21 kg
21 kg
21 kg
23 kg
23 kg
23kg
23 kg
Mains cable
4x
1,5mm²
4x
1,5mm²
4x
1,5mm²
4x
2,5mm²
4x
2,5mm²
4x
2,5mm
4x
2,5mm²
Output cable
3x
10mm²
3x
1,5mm²
3x
1,5mm²
3x
2,5mm²
3x
2,5mm²
3x
6mm²
3x
6mm²
Mains connection (X2)
Harting Han-Modular Compact
DC-connection (X1)
16
Technical Data GX 50 – GX 150
GX
100/800
GX
100/1000
GX
120/200
GX
120/800
GX
150/800
GX
150/1000
Nominal power
10kW
10kW
12kW
12kW
15kW
15kW
Output voltage
800V
1000V
200V
800V
800V
1000V
Output current
25A
20A
60A
30A
38A
30A
Control
Modes of operation
External via A/D interface AS 4, AS 6, AS 4 F or Profibus
Set point
0 ... 100 % of nominal current, voltage or power
Output accuracy
+/- 1 % of nominal value for current, voltage and power
Arc-suppression
Indications
Noise emission
LpA < 70db (A)
Mains connection
3 x 400V, +/-10 %, 50/60Hz
Power consumption
11kVA
11kVA
13,2kVA
13,2kVA
16,5kVA
16,5kVA
Fusing
3 x 20A
3 x 20A
3 x 25A
3 x 25A
3 x 25A
3 x 25A
Cooling
Water connection
Swagelok B-QC 6 …
Cooling capability of water
500W
500W
600W
600W
750W
750W
50W
50W
60W
60W
60W
60W
½ 19“, 3HU (130mm) x 520mm deep
(without plug), 590mm deep (with plug)
Size
Weight
23 kg
23 kg
23kg
23kg
25 kg
25kg
Mains cable
4 x 2,5mm²
4 x 2,5mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
Output cable
3 x 4mm²
3 x 4mm²
3 x 16mm²
3 x 6mm²
3 x 6mm²
3 x 6mm²
DC-connection (X1)
17
GSW 100 – GSW 300
Die Ausgangsleistung kann im Parallelbetrieb
bis auf 240kW gesteigert werden. Mit einem
speziellen Schaltungskonzept kann auf eine
„Master-Slave-Verdrahtung“ verzichtet werden.
Eine leistungsfähige Wasserkühlung sorgt auch
in nicht klimatisierten Räumen für höchste Zuverlässigkeit. Die Geräte können manuell über
ein aktives Frontpanel oder über eine Schnittstelle betrieben werden. Es stehen verschiedene Frontpanels und Schnittstellenmodule zur
Verfügung. Das extrem schnelle Arc-Handling
arbeitet vollautomatisch.
GSW with active Frontpanel
***Highlights
* Output power 10 – 30kW
* Water cooling
* Magnetic valve control
* 19“–case, 3 HU
* Floating output
* Parallel operation up to 240 KW
GSW rear
DC-Power Supplies
GSW 100 - GSW 300
In parallel operation the output power can be
increased up to 240kW. Thanks to a special circuit arrangement a „Master-Slave-Wiring“ is not
necessary. An efficient water cooling guarantees even in non-air conditioned rooms highest
reliability. The power supplies can be operated
manually via front panel or via interface. There
are different front panels and interfaces available. The super fast arc-handling works completely automatically.
18
GSW open
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Variations
Type
DC-Output
Order-No.
GSW 100/500
10kW
500V
40A
06Z010
GSW 100/800
10kW
800V
20A
06Z040
GSW 100/1000
10kW
1000V
18A
06Z041
GSW 150/400
15kW
400V
80A
06Z055
GSW 150/500
15kW
500V
60A
06Z060
GSW 150/600
15kW
600V
50A
06Z070
GSW 150/750
15kW
750V
38A
06Z080
GSW 150/800
15kW
800V
30A
06Z090
GSW 150/1000
15kW
1000V
25A
06Z100
GSW 200/500
20kW
500V
70A
06Z120
GSW 200/750
20kW
750V
50A
06Z135
GSW 200/800
20kW
800V
40A
06Z140
GSW 200/900
20kW
900V
40A
06Z145
GSW 200/1000
20kW
1000V
35A
06Z150
GSW 250/750
25kW
750V
60A
06Z180
GSW 250/800
25kW
800V
50A
06Z190
GSW 250/900
25kW
900V
50A
06Z195
GSW 300/500
30kW
500V
70A
06Z220
GSW 300/750
30kW
750V
66A
06Z230
GSW 300/800
30kW
800V
60A
06Z240
GSW 300/1000
30kW
1000V
50A
06Z260
Luftleitgehäuse mit Partikelabscheider für den
Betrieb in staubiger Umgebung
Air baffle with particle separator in dusty
environment
19
Order-No.
Interface AS 4
01Y001
Interface AS 6*
01Y061
01Y101
01Y151
06Y005
Arc Link
10Y100
Frontpanel active with 3 1/2 Digit Display
02Y050
Frontpanel passive with 3 1/2 Digit Display
02Y101
Status-LEDs
01Y010
Plasma Control**
50Y051
Second Voltage Range U1/U2**
10Y010
Swagelok-Water Couplings straight
04Y020
Swagelock-Water Couplings angled
04Y040
Cathode Clamp Diode
50Y001
GSW-Connector Set X1/X2 straight
03Y120
GSW-Connector Set X1/X2 angled
03Y140
GSW-Air Baffle, 3 pieces
05Y050
GSW-Mounting Hood with Crane Eye
05Y101
Mains Voltage 3 x 440V
10Y025
Mains Voltage 3 x 480V
10Y030
Magnetic Valve Control with
24V DC-Output
04Y025
Magnetic Valvel 24V DC with Connecting Cable (2 m)
04Y030
* only with passive Frontpanel
** only with active Frontpanel
Harting Plug straight
Cathode Clamp Diode
Magnetic Valve
20
Technical Data GSW 100 – GSW 300
GSW
100/500
GSW
100/800
GSW
100/1000
GSW
150/400
GSW
150/500
Nominal power
10kW
10kW
10kW
15kW
15kW
Output voltage
500V
800V
1000V
400V
500V
Output current
40A
20A
18A
80A
60A
Control
Modes of operation
Manual via front panel or external via A/D interface AS 4, AS 6*,
AS 4 F or Profibus
Set point
0...100% of nominal current, voltage or power
Output accuracy
Arc suppression
Indications
3 ½ digit display for Current, voltage and power (Option)
Noise emission
LpA < 70db (A)
3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
(Option: 3 x 440V or 3 x 480V)
Power consumption
11kVA
11kVA
11kVA
16,5kVA
16,5kVA
Fusing
3 x 20A
3 x 20A
3 x 20A
3 x 25A
3 x 25A
Water, > 3 l/min, 2 to 8 Bar, < 40° C
Cooling
Water connection
Swagelok B QC-6 ...
500W
500W
500W
680W
680W
80W
80W
80W
80W
80W
Size
Weight
19“, 3HU x 700mm deep (without plug)
42kg
42kg
42kg
44kg
44kg
Mains cable
4 x 2,5mm²
4 x 2,5mm²
4 x 2,5mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
Output cable
3 x 10mm²
3 x 2,5mm²
3 x 2,5mm²
3 x 25mm²
3 x 16mm²
DC-connection (X1)
Harting Han k4/0
Harting Han 2 MOD
* Only with passive Frontpanel
21
GSW
150/600
GSW
150/750
GSW
150/800
GSW
150/1000
GSW
200/500
Nominal power
15kW
15kW
15kW
15kW
20kW
Output voltage
600V
750V
800V
1000V
500V
Output current
50A
38A
30A
25A
70A
Control
Modes of operation
AS 4 F or Profibus
Set point
Output accuracy
Arc suppression
Indications
Noise emission
LpA < 70db (A)
3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
Power consumption
16,5kVA
16,5kVA
16,5kVA
16,5kVA
22kVA
Fusing
3 x 25A
3 x 25A
3 x 25A
3 x 25A
3 x 35A
Cooling
Water connection
Swagelok B QC-6 ...
600W
680W
680W
680W
950W
80W
80W
80W
80W
150W
Size
Weight
19“, 3HU x 700mm deep (without plug
44kg
44kg
44kg
44kg
49kg
Mains cable
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 6mm²
Output cable
3 x 10mm²
3 x 10mm²
3 x 6mm²
3 x 4mm²
3 x 16mm²
DC-connection (X1)
22
Harting Han k4/0
Harting Han 2 MOD
GSW
200/750
GSW
200/800
GSW
200/900
GSW
200/1000
GSW
250/750
Nominal power
20kW
20kW
20kW
20kW
25kW
Output voltage
750V
800V
900V
1000V
750V
Output current
50A
40A
40A
35A
60A
Control
Modes of operation
AS 4 F or Profibus
Set point
Output accuracy
Arc suppression
Indications
Noise emission
LpA < 70db (A)
3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
Power consumption
22kVA
22kVA
22kVA
22kVA
28kVA
Fusing
3 x 35A
3 x 35A
3 x 35A
3 x 35A
3 x 50A
Cooling
Water connection
Swagelok B QC-6 ...
900W
900W
900W
900W
1100W
100W
100W
100W
100W
110W
Size
Weight
49kg
49kg
49kg
49kg
51kg
Mains cable
4 x 6mm²
4 x 6mm²
4 x 6mm²
4 x 6mm²
4 x 10mm²
Output cable
3 x 10mm²
3 x 10mm²
3 x 10mm²
3 x 6mm²
3 x 16mm²
DC-connection (X1)
Harting Han k4/0
Harting Han 2 MOD
23
GSW
250/800
GSW
250/900
GSW
300/500
GSW
300/750
GSW
300/800
GSW
300/1000
Nominal power
25kW
25kW
30kW
30kW
30kW
30kW
Output voltage
800V
900V
500V
750V
800V
1000V
Output current
50A
50A
70A
66A
60A
50A
Control
Modes of operation
AS 4 F or Profibus
Set point
Output accuracy
Arc suppression
Indications
Noise emission
LpA < 70db (A)
3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
Power consumption
28kVA
28kVA
33kVA
33kVA
33kVA
33kVA
Fusing
3 x 50A
3 x 50A
3 x 63A
3 x 63A
3 x 63A
3 x 63A
Cooling
Water connection
Swagelok B QC-6 ...
1100W
1100W
1300W
1300W
1300W
1300W
110W
110W
150W
150W
150W
150W
Size
Weight
51kg
51kg
53kg
53kg
53kg
53kg
Mains cable
4 x 10mm² 4 x 10mm² 4 x 10mm² 4 x 10mm² 4 x 10mm² 4 x 10mm²
Output cable
3 x 10mm² 3 x 10mm²
DC-connection (X1)
* only with passive Frontpanel
24
3 x 16m²
3 x 16mm²
Harting Han k4/0
Harting Han 2 MOD
3 x 16m²
3 x 10m²
Sub-Assembly Department
25
HX 150 - HX 300
***Highlights
* Output power 15kW – 30kW
Das äußerst kompakte Design von 1/2 19“ Breite
und 5HE ist speziell für Produktionsanlagen
entwickelt worden, bei denen auf Schaltschränke verzichtet werden soll. Die HX verfügt über
Befestigungslaschen und kann in beliebiger
Einbaulage direkt in die Anlagen integriert
werden. Das Display ist schwenkbar und kann
vom Gerät getrennt werden. Eine leistungsfähige Wasserkühlung sorgt auch in nicht klimatisierten Räumen für höchste Zuverlässigkeit.
Zur Vermeidung von Kondenswasser kann ein
externes Magnetventil über die integrierte
Temperatursteuerung angeschlossen werden.
Die Ausgangsleistung kann im Parallelbetrieb
bis auf 240kW gesteigert werden. Das spezielle
Schaltungskonzept erlaubt sowohl einen Master-Slave-Betrieb, als auch eine Parallelansteuerung über Interface Combiner oder Profibus.
Das extrem schnelle Arc-Handling arbeitet vollautomatisch, so daß keine Parameter eingestellt
werden müssen.
* Parallel operation up to 240kW
* Water cooling
* Magnetic valve control
* Housing ventilation with
integrated particle separator
* ½ 19”- case, 5 HU
* Flange mounting
* M8-female thread for crane eye
* Replaceable, rotatable display
* Automatic Arc-handling
DC-Power Supplies
HX 150 - HX 300
The very compact design of ½ 19” width and 5
HU is especially designed for production plants
without cabinets. The HX has mounting flanges
and can be integrated into or attached to the
plasma chamber in any position. The display can
be swivelled and separated from the power supply. An efficient water cooling ensures highest
reliability even in non-air-conditioned rooms. In
order to avoid condensation water an external
magnetic valve can be connected via the integrated temperature control. The output power can
be increased up to 240kW in parallel operation.
The special electronic design allows masterslave-operation as well as parallel operation via
Interface-Combiner or Profibus. The extreme
fast Arc-Handling works completely automatic,
so that no parameters have to be set.
26
HX in upright position with rotatable display
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Variations
Type
DC-Output
Order-No.
HX 150/400
15kW
400V
80A
13Z010
HX 150/500
15kW
500V
60A
13Z020
HX 150/600
15kW
600V
50A
13Z030
HX 150/800
15kW
800V 30A
13Z040
HX 150/1000
15kW
1000V
25A
13Z050
HX 200/500
20kW
500V
70A
13Z100
HX 200/800
20kW
800V
40A
13Z110
HX 200/1000
20kW
1000V
35A
13Z120
HX 250/800
25kW
800V
50A
13Z200
HX 250/1000
25kW
1000V
40A
13Z210
HX 300/800
30kW
800V
60A
13Z300
HX 300/1000
30kW 1000V 50A 13Z310
HX in horizontal position with rotatable display
Order-No.
Interface AS 4
01Y001
Interface AS 6
01Y061
01Y101
01Y151
06Y005
HX-Display
01Y100
Arc-link
10Y100
Bias Voltage Control
10Y035
Cathode Clamp Diode
50Y001
HX-Swagelok-Water Couplings straight
04Y070
HX-Swagelok-Water Couplings angled
04Y080
HX-Connector Set X1/X2 straight
03Y400
HX-Connector Set X1/X2 angled
03Y410
Magnetic Valve 24V DC with
Connector Cable (2 m)
04Y030
HX in horizontal position, rear view
27
Technical Data HX 150 – HX 300
HX
150/400
HX
150/500
HX
150/600
HX
150/800
HX
150/1000
Nominal power
15kW
15kW
15kW
15kW
15kW
Output voltage
400V
500V
600V
800V
1000V
Output current
80A
60A
50A
30A
25A
Control
External via A/D interface AS 4,
AS 4 F, AS 6 or Profibus
Modes of operation
Set point
Output accuracy
Arc suppression
Indications
Noise emission
LpA < 70db (A)
3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
Power consumption
16,5kVA
16,5kVA
16,5kVA
16,5kVA
16,5kVA
Fusing
3 x 25A
3 x 25A
3 x 25A
3 x 25A
3 x 25A
Cooling
Water connection
SMC KQ2 10mm (Option: Swagelok B QC-6)
680W
680W
680W
680W
680W
80W
80W
80W
80W
80W
Size
Width: 218mm, Height: 222mm, Length: 645mm (without plug)
Weight
35kg
35kg
35kg
35kg
35kg
Mains cable
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
4 x 4mm²
Output cable
3 x 25mm²
3 x 16mm²
3 x 10mm²
3 x 6mm²
3 x 4mm²
DC-connection (X1)
28
Harting Han k4/0
Harting Han 2 MOD
HX
200/500
HX
200/800
HX
200/1000
HX
250/800
HX
250/1000
Nominal power
20kW
20kW
20kW
25kW
25kW
Output voltage
500V
800V
1000V
800V
1000V
Output current
70A
40A
35A
50A
40A
Control
Modes of operation
External via A/D interface AS 4, AS 4 F, AS 6 or Profibus
Set point
Output accuracy
Arc suppression
Indications
Noise emission
LpA < 70db (A)
3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
Power consumption
22kVA
22kVA
22kVA
28kVA
28kVA
Fusing
3 x 35A
3 x 35A
3 x 35A
3 x 50A
3 x 50A
Cooling
Water connection
950W
900W
900W
1100W
1100W
150W
100W
100W
110W
110W
Size
Weight
37kg
37kg
37kg
39kg
39kg
Mains cable
4 x 6mm²
4 x 6mm²
4 x 6mm²
4 x 10mm²
4 x 10mm²
Output cable
3 x 16mm² 3 x 10mm²
3 x 6mm²
3 x 10mm²
3 x 10mm²
DC-connection (X1)
Harting Han k4/0
Harting Han 2 MOD
29
HX
HX
300/800
300/1000
Nominal power
30kW
30kW
Output voltage
800V
1000V
Output current
60A
50A
Control
Modes of operation
External via A/D interface AS 4, AS 4 F, AS 6 or Profibus
Set point
Output accuracy
Arc suppression
Indications
Noise emission
LpA < 70db (A)
3 x 400V, +/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
Power consumption
33kVA
33kVA
Fusing
3 x 63A
3 x 63A
Cooling
Water connection
1300W
1300W
150W
150W
Size
Weight
41kg
41kg
Mains cable
4 x 10mm²
4 x 10mm²
Output cable
3 x 16mm²
3 x 10mm²
DC-connection (X1)
30
Harting Han k4/0
Harting Han 2 MOD
Final Assembly and Mechanical Department
31
DC Stromversorgungen für Ionenquellen
Stromversorgungen für Ionenquellen
Für den Betrieb von Ionenquellen (Kaufmann
und ECR) stehen verschiedene Spezialgeräte
zur Verfügung, die auf Anfrage auch mit anderen
Ausgangsspannungen oder Leistungen angeboten werden können. Alle Geräte sind wahlweise
mit einer Analog-Schnittstelle oder mit Profibus
ausgestattet.
For the Operation of ion sources (Kaufmann
and ECR) special power supplies are available.
On request the units can also be equipped with
other output voltages or output power. All supplies have an analogue interface or profibus.
Accelerator
Beam
Neutralizer
Discharge
Cathode
32
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Variations
Type
DC-Output
Order-No.
GG 03 Accelerator
300W
1000V
300mA
09Z001
GG 03.1 Accelerator
30W
1000V
30mA
09Z002
GG 12 Beam
1,2kW
2000V
1,0A
09Z011
GG 12.1 Beam
200W
2000V
100mA
09Z012
GIP 10 Neutralizer
990W
25W
25W
33V
25V
25V
30A
1,0A
1,0A
09Z021
GIP 10.1 Neutralizer
990W
2,5W
33V
25V
30A
0,1A
09Z022
GDI 09 Discharge
900W
150V
6,0A
09Z031
1kW
35V
30A
09Z051
GC 10 Cathode
Order-No.
Interface AS 4
01Y001
01Y101
01Y151
Cable for RS 232 (Profibus)
06Y005
33
Technical Data
GG 03, GG 03.1 Accelerator and GG 12, GG 12.1 Beam
GG 03
GG 03.1
GG 12
GG 12.1
Nominal power
300W
30W
1,2kW
200W
Output voltage
Negative, max.
1000V
Negative, max.
1000V
Positive, max.
2000V
Positive, max.
2000V
Output current
300mA
30mA
1A
100mA
Control
Operation modes
Voltage or current controlled
Setpoint
0...100 % of nominal voltage or current
Indications
3 ½ digit displays for voltage and current
Noise emission
LpA < 70 db(A)
230V, +5/-10%, 50/60Hz, PE
Mains connection
Power consumption
Cooling
Dimensions
Weight
34
500VA
100VA
1500VA
Forced air, max. ambient temperature 40° C.
½ 19,5“ slide-in, 3 HU (132,5mm), 560mm deep.
11kg
250VA
Technical Data GIP 10 and GIP 10.1 Neutralizer
Cathode
GIP 10
Discharge
Emission
Nominal power
990W
25W
25W
990W
2,5W
Output voltage
33V
25V
25V
33V
25V
Output current
30A
1A
1A
30A
0,1A
Control
Modes of operation
GIP 10.1
Cathode
Emission Emission or filament current controlled
Manual via frontpanel or external via A/D Interface AS 4 or Profibus
Set point
0 ...100 % of nominal emission or filament current
Indications
3 ½ digit displays for emission and filament current
Noise emission
LpA < 70db(A)
Mains connection
230V, +5/-10%, 50/60Hz, PE , 1200VA
Cooling
Forced air, maximum ambiente temperature 40° C
Seize
½ 19” slide-in, 3 HU (132,5 mm), 560 mm deep
Weight
11kg
Technical Data GDI 09 Discharge
GDI 09 Discharge
Nominal power
900W
Output voltage
150V, floating up to 2kV
Output current
6A
Control
Operation modes
Setpoint
Indications
Noise emission
Mains connection
Cooling
Dimensions
Weight
Voltage or current controlled.
0...100 % of nominal voltage or current
3 ½ digit displays for voltage and current
LpA < 70 db(A)
230V, +5/-10%, 50/60Hz, PE, 1200VA
Forced air, max. ambient temperature 40° C
½ 19“ slide-in, 3 HU (132,5mm), 560mm deep
11kg
35
Technical Data GC 10 Cathode
GC 10 Cathode
Nominal power
1kW
Output voltage
35V, floating up to 2kV
Output current
30A
Control
Operation modes
Setpoint
Indications
Noise emission
Mains connection
Current, voltage or power controlled.
Manual via front panel or external via A/D interface
AS 4 or Profibus..
0...100 % of nominal voltage or current.
3 ½ digit displays for voltage and current.
LpA < 70 db(A)
230V, +5/-10%, 50/60Hz, PE
1200VA
Cooling
Forced air, max. ambient temperature 40° C.
Dimensions
½ 19“ slide-in, 3 HU (132,5mm), 560mm deep
Weight
36
11kg
Electronic Laboratory and Vacuum Coating Plant
37
Pulsgeneratoren
Pulse Generators
Unipolar Pulsgenerator RD 300
Der Pulsgenerator RD 300 arbeitet nach dem
Resonanzschaltprinzip in Verbindung mit den
meisten ADL-Stromversorgungen. Durch den
extrem hohen Wirkungsgrad (99,5% bei 30kW)
ist das Gerät sehr kompakt und erzeugt nur
eine geringe Verlustleistung von maximal 150W.
Bestehende Anlagen können einfach nachgerüstet werden, da der Generator parallel mit der
DC-Stromversorgung direkt an die Kathode angeschlossen wird. Das Gerät arbeitet mit einer
fest eingestellten Frequenz von 2kHz. Mit einem
externen Signalgenerator kann die Frequenz
jedoch in einem Bereich von 0,2 bis 3kHz variiert werden. Mehrere Generatoren können über
Steuerleitungen für eine automatische Synchronisation verbunden werden.
RD 300 rear view
Unipolar Pulse Generator RD 300
***Highlights
The Pulse Generator RD 300 operates with a
resonant switching circuit in combination with
most of the ADL-Power Supplies. With an extraordinary efficiency (99.5 % at 30kW) the unit is
very compact and the power dissipation is maximum 150W. Existing plants can easily be retrofitted, as the Pulse Generator RD 300 is directly
connected in parallel with the DC-power supply
to the cathode. The generator operates with a
fixed frequency of 2kHz. Nevertheless, with an
external signal generator this frequency can be
varied between 0.2 to 3kHz. Several Pulse Generators RD 300 can be connected via control line
for an automatic synchronization.
* Output power 30kW
38
* Automatic synchronization
* Air cooling
* High efficiency
* Very compact design
* Flange mounting
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Pulsgeneratoren
Pulse Generators
Type
DC-Output
RD 300
2kHz
800V
Order-No.
11Z003
30kW
Order-No.
Master Oscillator OM5
50Y201
RDY Adapter
06Y110
The Master Oscillator OM5 synchronizes very
precisely up to five Pulse Generators
Technical Data Pulse Generator RD 300
Pulse Generator RD 300
Nominal voltage
800V (DC Output voltage of power supply)
Nominal Power
30kW (DC Output of power supply)
Pulse frequency
2kHz, fixed
Pulse on time
480µS up to 490µS
Pulse off time
10µS up to 20µS
Principle of operation
ZVS resonance converter
Maximum cable length
5m meters (generator/cathode)
Indications
Auxiliary voltage
Cooling
Size
Weight
Compatible with the following
power supplies:
Status LEDs
24V DC +/- 10%, 0,06A
157mm width, 118mm height, 430mm length
8 kg
Power supplies of the series GS and GSW with a maximum nominal
power of 30kW
39
Pulsgeneratoren
Pulse Generators
Unipolar Pulsgeneratoren
SD 150 – SD 300
Die Pulsgeneratoren erzeugen in Verbindung
mit einer ADL DC-Stromversorgung unipolare
Impulse. Die Geräte arbeiten mit einer fest eingestellten Frequenz von 20kHz. Mit einem externen Signalgenerator kann die Frequenz in einem
Bereich von 1kHz bis 40kHz variiert werden.
Die Generatoren besitzen eine automatische
Arc-Unterdrückung. Die Parameter für Triplevel und Pausenzeiten werden automatisch an
den jeweiligen Prozess angepasst. Die übliche
Programmierung durch den Benutzer ist nicht
erforderlich.
Mehrere Generatoren können über Steuerleitungen für eine Synchronisation verbunden werden. Die Geräte schalten sich dabei automatisch
auf externe Synchronisation.
SD 150 rear view
***Highlights
* Output power 15kW, 30kW
* Air cooling
* Very compact design
* Floating output
SD 150 open front view
Unipolar Pulsgenerators
SD 150 – SD 300
In combination with an ADL DC-power supply the
pulse generators generate unipolar impulses.
The pulse generators work with a fixed frequency of 20kHz. Thus, with an external signal
generator this frequency can be varied in an
area of 1kHz up to 40kHz. The pulse generators
are equipped with an automatic arc suppression. The parameters for Triplevel and Pulse off
time are automatically adjusted to the specific
processes. Programming by the user is not
necessary at all.
For an automatic synchronization several generators can be connected via control cables.
In this case the pulse generators automatically
switch to external syncronization.
40
SD 300 rear view
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
Pulsgeneratoren
Pulse Generators
Variations
Type
DC-Output
Order-No.
SD 150
20kHz
800V
15kW
11Z015
SD 300
20kHz
800V
30kW
11Z035
Order-No.
50Y301
Master Oscillator OM20
Technical Data SD 150
Pulse Generator
SD 150
Input voltage
Maximum 800V DC
Nominal current
38A
Nominal power
Pulse frequency
20kHz, fixed
Pulse on time
48µS
Pulse off time
2µS
Arc suppression
Input cable
Output cable
Output inductivity
Indications
Auxiliary voltage
Cooling
Size
Weight
power supplies:
unipolar
Automatic parameter setting
3 x 6mm²
3 x 6mm² (max. 5m)
Max. 10µH (cable + cathode)
Status LEDs
24V DC +/- 10%, 1A
10 kg
GS 60 to GS 150,
GX 50 to GX 150 (except all versions over 800V or over 38A)
41
Pulsgeneratoren
Pulse Generators
Technical Data SD 300
Pulse Generator
SD 300
Input voltage
Maximum 800V DC
Nominal current
70A
Nominal power
Pulse frequency
20kHz, fixed
Pulse on time
48µS
Pulse off time
2µS
Arc suppression
Input cable
Output cable
Output inductivity
Indications
Auxiliary voltage
Cooling
Size
Weight
power supplies:
42
unipolar
3 x 16mm²
3 x 16mm² (max. 5m)
5m (between pulse generator and cathode)
Status LEDs
24V DC +/- 10%, 1,2A
18 kg
GSW 100 to GSW 300
HX 150 to HX 300
(except all versions over 800V or over 70A)
Pulsgeneratoren
Pulse Generators
Testing Department
43
Mittelfrequenz und Bipolar Pulsgenerator
Middle Frequency and Bipolar Pulse Generator
Mittelfrequenzgenerator und
Bipolar Pulsgenerator SB 300
Der Generator kann sowohl als Mittelfrequenzgenerator zur Erzeugung eines symmetrischen
Wechselstromes, als auch als Bipolarpulser für
asymmetrische Rechteckimpulse verwendet
werden. Mit einer speziellen Leistungsquotientenreglung kann die Targetlebensdauer für
Dual-Magnetrons exakt symmetriert werden.
Es können auch zwei unterschiedliche Targetmaterialien mit asymmetrischen Pulsleistungen
geregelt werden. Der Quotientenregler stellt
die Pulszeiten über eine Pulsbreitenmodulation
(PWM) automtisch ein.
Das Gerät arbeitet mit einer fest eingestellten
Frequenz von 20kHz. Der Generator verfügt
über eine automatische Arc-Unterdrückung.
Die Parameter für Triplevel und Pausenzeiten
werden automatisch an den jeweiligen Prozess
angepasst. Die übliche Programmierung durch
den Benutzer ist nicht erforderlich!
Mehrere Generatoren können über Steuerleitungen für eine Synchronisation verbunden
werden. Die Geräte schalten dabei automatisch
auf externe Synchronisation.
SB 300 front view
***Highlights
* Output power 30kW, AC
* Ratio power controller
* Automatic synchronization
* Water cooling
* Very compact desing
* Floating output
Middle Frequency Generator and
Bipolar Pulse Generator SB 300
SB 300 rear view
44
Tel. +49 (0) 6151 86072-40
The Generator can be used as middle frequency
generator in order to generate symmetric AC
current as well as a bipolar pulse generator
to generate asymmetrical square impulses.
With a special ratio power controller the target
life time for dual-magnetrons can be exactly
symmetrized. Further, also two different target
materials can be controlled with asymmetrical
pulse power. The ratio power controller sets the
pulse times via pulse width modulation (PWM)
automatically.
The generator works with a fixed frequecy of
20kHz. The generator has an automtic Arcsuppression. The parameter for Triplevel and
time-off are automatically adjusted to the
chosen process. Programming by the user is not
necessary.
For an automatic synchronization several generators can be connected via control cables.
In this case the pulse generators automatically
switch to external syncronization.
Type
SB 300
AC-Output
20kHz
800V
Order-No.
30kW
11Z050
Order-No.
SB-Swagelok-Water Couplings straight
04Y160
SB-Swagelok-Water Couplings angled
04Y170
SB-Connector Set X1/X2 straight
03Y280
SB-Connector Set X1/X2 angled
03Y290
SB 300 open rear view
SB 300 open front view
45
Technical Data SB 300
SB 300
Input voltage
Maximum 800V DC
Nominal power
30kW (DC output of power supply)
Nominal current
+/- 70A
Pulse frequency
20kHz, fixed
AC, bipolar
Arc suppression
Input cable
Output cable
Output inductivity
Indications
Auxiliary voltage
3 x 16mm²
3 x 16mm² (max. 5m)
5m (between pulse generator and cathode)
Status LEDs
24V DC +/- 10%, 1,5A
Cooling
Water connection
Size
Weight
power supplies:
46
(without plug)
22kg
GSW 100 to GSW 300
HX 150 to HX 300
(except all versions over 800V or over 70A)
The Shipping of ADL Power Supplies ...
Shipping Department and Cooling Technique
47
Zubehör
Accessories
Schnittstellen
Interfaces
AS 4
Order-No. 01Y001
Analogschnittstelle (0-10V für
Istwerte und Sollwert), Steuereingänge (24V/DC), Statusausgänge
(Relais).
AS 4
Analogue interface (0-10V for actual
values and set value), control inputs
(24V/DC), status outputs, (relay).
AS 4 F
Analogue interface, like AS 4, but
with faster signal processing and
special functions.
AS 4 F
Order-No. 01Y021
Analogschnittstelle wie AS4, aber
mit schnellerer Signalverarbeitung und Sonderfunktionen.
Weitere Schnittstellen auf Anfrage
Other interfaces on request.
AS 6*
Order-No. 01Y061
Analogschnittstelle wie AS4, aber
mit drei Sollwerteingängen für
gleitende U-, I-, P-Regelung.
AS 6*
Analogue interface like AS 4, but with
three set values, inputs for a gliding
U-,I-,P-control.
* not available for all power supplies.
* nicht für alle Geräte geeignet.
Profibus
Order-No. 01Y151
Zur Anbindung an den Profibus DP.
Profibus
To connect to the Profibus DP.
Interface Combiner
Interface Combiner
AM2
Order-No. 50Y211
Parallelbetrieb von zwei Stromversorgungen mit Analogschnittstelle AS4.
AM2
Parallel operation of two power
supplies with analogue interface
AS 4.
AM3
Order-No. 50Y231
Parallelbetrieb von drei Stromversorgungen mit Analogschnittstelle
AS4.
AM3
Parallel operation of three power
supplies with analogue interface
AS 4.
Master Oscillator
Master Oscillator
OM5
Order-No. 50Y201
Synchronisation von 2 bis 5 Pulsgeneratoren vom Typ RD300.
OM5
Synchronization of 2 up to 5 pulse
generators, type RD 300.
OM20
Order-No. 50Y301
Synchronisation von 2 bis 5 Pulsgeneratoren vom Typ SD150 oder
SD300.
OM20
Synchronization of 2 up to 5 pulse
generators, types SD 150 or
SD 300.
48
Zubehör
Accessories
Stecker / Plugs
GS 50 - GS 150
(Netzeingang und DC-Ausgang)
GS 50 - GS 150
(Mains input and DC-output)
Order-No. 03Y020
Order-No. 03Y040
Order-No. 03Y220
Order-No. 03Y240
Order-No. 03Y120
Order-No. 03Y140
Order-No. 04Y020
Order-No. 04Y040
GX 50 - GX 150
GX 50 - GX 150
GSW 100 – GSW 300 und HX 150 – HX 300
GSW 100 – GSW 300 und HX 150 – HX 300
Kühlwasserkupplungen
Water couplings
Beidseitig schließende Schnellkupplungen jeweils für Vor- und Rücklauf
Water couplings, closing at both ends,
for reloading and return flow
Magnetventil
Zur Steuerung der Kühlwassertemperatur bei
Geräten mit integrierter Magnetventilsteuerung.
Order-No. 04Y030
Magnetic Valve
For controlling the temperature of the cooling water for
power supplies with integrated magnetic valve control.
49
Zubehör
Accessories
Remote Control
RC4
Order-No. 06Y401
Manuelle Fernbedienung für alle
DC-Stromversorgungen.
Manual remote control for all
DC-Power Supplies.
Kathodenfreilaufdiode
D300 Order-No. 50Y001
Vehindert das Umschwingen der
Spannung während der ArcLöschung.
Cathode Clamp Diode
D300
Prevents the overshooting of the
voltage during Arc-suppression.
Kabel / Cable JZ-600-Y-CY
Spezialkabel zur Verbindung der Stromversorgungen mit Kathoden oder anderen
Lasten. Das Kabel ist für alle DC-Stromversorgungen und Pulsgeneratoren bis zu einer
Ausgangsspannung von 1000V geeignet.
Technical Data
Special cable to connect the power supplies
with the cathode or other loads. The cable
can be used for all power supplies and pulse
generators for an output voltage up to 1000V.
Temperature range:
-5º C bis +80º C
Nominal voltage:
0,6/1kV
Test voltage:
Minimum bending
radius:
4000V
10 x Outside diameter
Aufbau / Cable structure
Cu-Litze blank, feindrähtig
PVC-Aderisolation
Abschirmgeflecht aus verzinnten
CU-Drähten
PVC-Außenmantel
Core cross-section
mm²
Outside diameter
mm
Weight
kg/km
Order-No.
2 x 1,5
10,4
162
E015-0019
2 x 2,5
11,8
272
E015-0224
Bare copper, fine wired
Special PVC core insulation
Braided screen of tinned Cu wires
Special PVC outer sheath
2x4
14,2
306
E015-0194
2x6
15,9
420
E015-0193
2 x 10
18,3
845
E015-0217
2 x 16
22,8
1150
E015-0204
50
Yeu & Jerng Techn Inc.
c/o: No. 96, Tahsiang Street
Sanmin Li
32051 Chungli City
Taiwan R.O.C. Sales and Service
worldwide
ADL (SenVac) Korea
408-2 Ho,
Green Plaza 644-5
Whaseodong Paldalgu,
Suwon City
442-150, Kyungki-do
Korea
robeko
Rolf Schäfer
Beschichtungskomponenten
Ackerwiese 14
D-67728 Münchweiler
Fergutec
P.O. Box 639
5550 AP Valkenswaard
The Netherlands
High-Tech
Manufacturing
Imprint
Realization
ADL
Analoge und Digitale
Bunsenstraße 30
D 64293 Darmstadt
Tel. +49 (0) 6151 860 720
Fax +49 (0) 6151 860 7271
Text: ADL
Executive Board:
Michael Houben
Entry in County Court:
Amtsgericht Darmstadt, HRB 53147
Tax Specifics:
Sales Tax Identification Number: DE 152372674
Tax Payer‘s Account Number: 007 228 03963
Customer Contact:
Jürgen Würtenberger, Customer Consultant
Ingenieurbüro
Wurczinger Engineering
Alte Straße 31
D-61118 Bad Vilbel
SenVac GmbH
Anlagenbau und
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D-61169 Friedberg
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D-63589 Linsengericht
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