Dickschicht-Sensor zur Detektion von Wasserstoff in Chlorgas

Dickschicht-Sensor zur Detektion von Wasserstoff in Chlorgas

<CILL)R
?;
?[
$$
“
‚>;%
">>ˆ%j>€%#"
>'*j‚€!<+{ƒƒ;;
%><=<>
><
"'
}%;$
X<|{+|ƒ;
'%
;
%
$
> ' $ 
X
 
`
'
 X
< $ ^
X
•}`ž  `
?
<
^
“<
“ “ •}ž{ ˜
<
“
!
X


#
 '
`
*`
\
!<' X 
“  <
<  X
<
* ! ‚'
#
<‚
^

˜
<
X
' ‚ >˜ #
 < #!
*
_
X
 ˜
'
$‘
^ < „ ^ `•$ ' < `
\`\#
^“
<\ X`
< $ '
' X
 <
 $ \
' 
< !
\
?
<
`
11. Dresdner Sensor Symposium 2013
[
$$!
>
#
<
$
•
< Š’« * }’’ž ‹„\Ž
 ' ^`
•<
' ^ X
! \
\
^˜‹^—ƒŽ_`
˜ ‹_—Ž 
`
'>
#
_ >
''X
''
^<
`
< '
“
<

$\'<
<' ‘ ^
#<— _— •
<
' ^
^—ƒ $ƒ€… — $
!|}`…~
! _˜ >

< 
‰’’«
< # < 
<`
< $
< !
˜ *
™  ‚< 219
<CILL)R
‚' `
#
#
! ' ˜ < „< `
?
– $
< < # •`
<
|‡ˆ~ $—ƒ '
¡—ƒ ' 
>
#
 <
< 
‡‡’« #
‹Ž`
 ' •`
<
'
X
<`
 ^' }’œ #< •<
‹
•>$?Ž_˜'
ƒ ‡ Š`ž ¡—ƒ ‹¡$_
š×ƒ§‡§ŠØŽ ' $<
< ƒ¡$_
' #
`
‹?#^ŠŠ¨}}$ \Ž <
'
!< ' #< ¥
' #
<

^
$` ‹\Ž ^
‹ Ž ' \
‹}’žŽ <!
}‡’« <
'  <
…< 
#< * ƒ˜ƒ’˜’}Ù ' ‚
<‹>
Ž
<}’«
 ^ }’œ ^“'
'
‹
Ž
*`\
^
`
!<!
>< ' ¥< ' #
`
 <! ^
' #< '
^ < $ \`
€ ^ !<
 }‡’ ' #< ¨
¨ < X ' ^<<} „
ƒ` ‡¡$_`
$<
< ' < ^
'
11. Dresdner Sensor Symposium 2013
}<< }
%!
! ‡%';X> "[ ]'
@‚'‚
X<
 ^<< >$>`^ —< ƒ¡$_`
$<
}<< ‚'}
> Œ>%Q !%!]@‚'‚
>!<

• ' $
_
#< <
<
?
<#
<
Š¡$_`#< ^
'
 ^<< ƒ < >$>`^ #<<#
`
„< ‹Ž
#< ^ ‹<Ž
<<
#
#<
>!
>G`>
“ „`
#<
'™  #
`#
„< $
<
^
`
 >G`^“ #< \' ' ' ^ <  '
<'
220
<CILL)R
$
! “
\
#
`#
' ' ^  ’}Ú}œ$
<
'
}<]<‚'}
> Œ>%Q &'
%';
>"X<

•
\
' \ #
' $
< •
?
<
`
<
'
 \
' * ¥` `
•
^<<…
$
}<]<‚'}
> Œ>%Q &'
%';
‡%'}
%!
!X<
_
'
#
`
$
<

 ¥` #
< <
>$>`
^<
^ X
! $
Š¡$_ ¥ #
‚
;
$
 \
' 
<
}’œ $<
Š¡$_ ' $<`
?
<
#
`
Š¡$_¨
<
'  

' „ $
' `•$
'
_ $
?
<
`
'!
X' $
Š¡$_`$— ¨ •
<`
 ^<
_`
X<•
11. Dresdner Sensor Symposium 2013
}<|< ‚%Ž "%
‚
"
&'
€
"!%'jQ![<
! ' $`
X
`
! < ‘ '
$
'
“
>
<
! * X
X
X
 $ <
X
< \
< ‚
X
 '
' „
' † \
 
`
' <
† X
\
' X
 ! „
^
' \`
<
'`
ƒ’’Ú…’’«‚
221
<CILL)R
˜
>˜„
' Ÿ<
_
\
! ' „
!< ' <
™ _ ' \
< > $
_
\
<
' ' ! „
' ^
! _
<
'
#
 
\
„
< ?
?
<
$ £ `

\< < ^

`
!< `
< $
„ ! ?
<
$`
> ' $`
`
}}’ <

!<'
 ^<<‡ <`

<
}’  
˜
^<
'
' * >
“
'
‘ ' \

\< < 
<
$<
' ?
<
'$<
_‚
^
$ ' ' X

‹Š’«}’’ž
…’{Ž ^<<ˆ $<

\
$
ƒ’ < $`
'
\`•
}`ž  <
$ '
X
`
<^
…{
<
'
ˆ
}<< }X% Y%<'~€>>‡%!<
‚
>
 •<
$`
' ^`
\` 
' € ^ $
 ‹Š’«}’’ž
Ž !< }‡’’ ' ’}ž
† \`
'
’‰ž „ `
>$>`^ #<`
< „< ‹^<< ‰Ž  #< ‹^<<
‰<Ž
‚
}<< €Q%
> &>%Q
>%!
!{Y%X
!<
11. Dresdner Sensor Symposium 2013
}<ƒ<‚'}
> Œ>%Q &'
+@‚';
>"X<
222
<CILL)R
|ƒ~ £X>
$ƒ€…
<
“
£€`“
$’…”`‡ƒ
‹}””‰Ž
|…~ „^„$•$„
<
“?$
\€—ƒ\\$—…^–^$
£€`“
$ƒ‡‡}ˆ”`}‰…
‹’’”Ž
}<ƒ<‚'}
> Œ>%Q &'
+@‚';
‡%'}
%!
!X<
#< ™ $'
#
`
˜ ‹Ž Š¡$_`#
‹Ž ' < <$
*
|‡~ ¡\$$“
„
¡
`$
<_$
“
\“
$
£
^$
“ˆ”‹‰Ž‡Šƒ`‡Š…
‹}”ŠˆŽ
|ˆ~ $?'>

_£
>
$
“}‡‹ˆŽ…Š‡`‡’‹}””‡Ž
$
 ! >

'
$ <
X`
<
X
•}`ž  ^
•`
$ 
\`
! ' < `
'
Š¡$_ ¥ #
'  •`
<
\`

 < '
`
< <
< $ * `
^
^` ?
>
$ ! ^' < < ' X
`
'
\
¥
|}~ ^#<
Ҥ^
“^£
$}…ˆ`ˆŠ‹}”‰‰Ž
|~ ••>
`“
^
>
_—^
“
#
“`
#
—`—`#—‡

„
……}ˆ‰’`}ˆ‰‡‹’’”Ž§
™}’}’}ˆ{‘
<’’”’…’’‰
11. Dresdner Sensor Symposium 2013
223