mikro! - Silicon Saxony
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ORGANISCHE ELEKTRONIK·SOFTWARE·E MIKRO! ANALYTIK·MOBILFUNK·SMART SYSTEMS ALTKREISE·HARDWARE·ANALYTIK·MOBIL RT SYSTEMS·CHIPDESIGN·MATERIAL·MEM K·NANOTECHNOLOGIE·SCHALTKREISE· E·ORGANISCHE ELEKTRONIK·EQUIPMENT A LYTIK·MOBILFUNK·MEMS·SMART SYSTEM Mikroelektronik / IKT in Sachsen Unternehmen 7 Ausbildung & Forschung 21 Mikro- und Nanoelektronik 8 Ausbildung 22 Neue Materialien 11 Mikro- und Nanoelektronik 23 Nanotechnologie 12 Intelligente Kommunikation 24 Intelligente Kommunikation 13 MEMS / Smart Systems 25 MEMS / Smart Systems 13 Organische und Gedruckte Elektronik 25 Organische und Gedruckte Elektronik 14 Fortschrittliche Fertigungssysteme 16 Software, Hardware und IT 18 Netzwerke 27 UNTERNEHMEN DER MIKROELEKTRONIK- / IkT-BRANCHE IN SACHSEN (AUSWAHL) Leipzig Dresden Chemnitz Quelle: Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH, Silicon Saxony e. V. Register der genannten Firmen & Institutionen Unternehmen/Institution Webadresse Unternehmen/Institution Webadresse Mikro- und Nanoelektronik Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) www.amtc-dresden.de Deutsche Cell GmbH Deutsche Solar GmbH www.deutschecell.de www.deutschesolar.de DMOS GmbH GLOBALFOUNDRIES Fab 1 Dresden Infineon Technologies Dresden GmbH JSSi GmbH www.dmosdesign.com www.globalfoundries.com www.infineon.de www.js-silicon.de Leading-Edge Cluster »Cool Silicon« Photronics MZD GmbH SAW COMPONENTS Dresden GmbH SolarFactory GmbH SolarWorld AG SolarWorld Innovations GmbH www.cool-silicon.de www.photronics.com www.sawcomponents.de www.solarfactory.de www.solarworld.de www.sw-innovations.de Toppan Photomasks Germany GmbH X-FAB Dresden GmbH www.photomask.com www.xfab.de Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMDI) www.zmd.biz Neue Materialien AIR LIQUIDE Electronics GmbH www.airliquide.de AZZURRO Semiconductors AG bubbles & beyond GmbH www.azzurro-semiconductors.com www.bubbles-beyond.com Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) Siltronic AG, Werk Freiberg www.fcm-germany.com www.siltronic.de Nanotechnologie M+W Group MicroSystems GmbH Roth & Rau AG www.mwgroup.net www.microsystems.de www.roth-rau.de SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH XENON Automatisierungstechnik GmbH www.institut-fresenius.de www.xenon-dresden.de Software, Hardware und IT BuS Elektronik GmbH & Co. KG www.bus-elektronik.de Comarch Software AG www.comarch.de COMPAREX AG itCampus Software- und Systemhaus GmbH www.comparex-group.com www.itcampus.eu Leesys - Leipzig Electronic Systems GmbH www.leesys.com MEGWARE Computer Vertrieb und Service GmbH Robotron Datenbank-Software GmbH www.megware.com SAP AG Software AG SYSTEMA Systementwicklung Dipl.-Inf. Manfred Austen GmbH TechniSat Digital GmbH www.sap.com/germany www.softwareag.com www.systemagmbh.de www.technisat.com T-Systems Multimedia Solutions GmbH www.t-systems-mms.com www.robotron.de Ausbildung & Forschung Deutsche Telekom AG, Hochschule für Telekommunikation Leipzig (HfTL) www.hft-leipzig.de dresden chip academy (dca) Fraunhofer IZM - All Silicon System Integration Dresden (ASSID) www.dresden-chip-academy.de www.izm.fraunhofer.de AXO DRESDEN GmbH CREAVAC - Creative Vakuumbeschichtung GmbH NanoelektronikZentrumDresden GmbH www.axo-dresden.de www.creavac.de www.nanodresden.de Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme (ENAS) www.enas.fraunhofer.de Fraunhofer-Einrichtung für Organik, Materialien und Elektronische Bauelemente (COMEDD) www.comedd.fraunhofer.de Saxray GmbH www.saxray.de VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH www.vonardenne.biz Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS) www.fep.fraunhofer.de www.ikts.fraunhofer.de VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH www.vtd.de Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren, Institutsteil Dresden (IZFP-DD) www.ipms.fraunhofer.de www.izfp-d.fraunhofer.de Fraunhofer-Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM) Helmholtz-Institut Freiberg für Ressourcentechnologie www.thm.fraunhofer.de www.hzdr.de/db/Cms?pNid=2423 Intelligente Kommunikation Intel Mobile Communications Technology Dresden GmbH www.intel.com KOMSA KOMMUNIKATION SACHSEN AG RadioOpt GmbH www.komsa.de www.radioopt.com Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. (HZDR) www.hzdr.de Signalion GmbH www.signalion.com Institut für Angewandte Photophysik (IAPP), TU Dresden Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) und Zentrum für mikrotechnische Produktion (ZµP), TU Dresden www.iapp.de www.avt.et.tu-dresden.de ADZ NAGANO GmbH www.adz.de Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), TU Dresden www.ihm.tu-dresden.de GEMAC - Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH www.gemac.info Institut für Print- und Medientechnik (pmTUC), TU Chemnitz www.tu-chemnitz.de/mb/PrintMedienTech Microelectronic Packaging Dresden GmbH (MPD) www.mpd.de Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab), TU Dresden www.namlab.com MICRO-EPSILON Optronic GmbH Silicon Micro Sensors GmbH www.micro-epsilon.de www.smicrosensors.de Technische Universität Bergakademie Freiberg www.tu-freiberg.de Smart Systems Campus Chemnitz www.smartsystemscampus.de Technische Universität Chemnitz Technische Universität Dresden Vodafone Stiftungslehrstuhl Mobile Nachrichtensysteme, TU Dresden www.tu-chemnitz.de www.tu-dresden.de www.vodafone-chair.com Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM), TU Chemnitz www.zfm.tu-chemnitz.de MEMS / Smart Systems Organische und Gedruckte Elektronik CreaPhys GmbH www.creaphys.com Heliatek GmbH LEDON OLED Lighting GmbH & Co. KG Novaled AG Plastic Logic GmbH Printechnologics GmbH www.heliatek.de www.ledonlighting.com www.novaled.com www.plasticlogic.com www.printechnologics.de Fortschrittliche Fertigungssysteme 3D-Micromac AG Cascade Microtech GmbH DAS Environmental Expert GmbH FHR Anlagenbau GmbH Kinetics Germany GmbH www.3d-micromac.de www.cmicro.com www.das-europe.com www.fhr.de www.kinetics.net Netzwerke Nanotechnologie-Kompetenzzentrum »Ultradünne funktionale Schichten« (NANO-CC-UFS) www.nanotechnology.de Organic Electronics Saxony e. V. www.oes-net.de RFID Saxony Silicon Saxony e. V. Software Saxony www.rfid-saxony.de www.silicon-saxony.de www.software-saxony.de Sonstige Kontakte »Invest in Saxony« – Sachsens Portal für Investoren Sächsisches Staatsministerium für Wirtschaft und Arbeit (SMWA) www.invest-in-saxony.de www.smwa.sachsen.de Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH (WFS) www.wfs.sachsen.de MIKRO! Willkommen! »Silicon Saxony« ist Europas größter Mikroelektronik-Cluster und der fünftgrößte weltweit. In der Region zwischen Dresden, Freiberg und Chemnitz findet sich eine einzigartige Ballung von Unternehmen und Forschungsinstituten mit Know-how in den Bereichen Mikro- und Nanoelektronik, Nanotechnologie, Intelligente Kommunikation, Energieeffiziente Systeme, Smart Systems und vernetzte Sensorik sowie Organische und Gedruckte Elektronik. Mehr als 2.100 Unternehmen mit insgesamt 51.000 Mitarbeitern sind in Sachsen auf allen Stufen der IKT-Wertschöpfungskette aktiv: Sie entwickeln, fertigen und vermarkten integrierte Schaltkreise oder dienen der Chipindustrie als Material- und Equipmentlieferanten, pro- duzieren und vertreiben elektronische Produkte und Systeme auf der Basis integrierter Schaltungen oder entwickeln und vermarkten Software. Seine Innovationskraft zeigt »Silicon Saxony« auf verschiedenen Gebieten: Die Novaled AG in Dresden ist weltweit führend bei der Herstellung von hocheffizienten und langlebigen OLEDs, die Partner des Spitzenclusters »Cool Silicon« entwickeln energieeffiziente IKTLösungen und das Leipziger Unternehmen bubbles & beyond GmbH entwickelt intelligente Fluids, die eine sanfte Reinigung von hochempfindlichen Reinräumen und Wafern ermöglichen. 5 Geschichte 1886 1703 1961 1994 1995 1957 1996 1998 1999 2003 2002 2006 2005 2007 Eröffnung des Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT) in Dresden Eröffnung der Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab) – ein An-Institut der TU Dresden 2009 2010 2011 2012 6 Der Leipziger Universalgelehrte Gottfried Wilhelm Leibniz erfindet das Dualsystem – die mathematische Grundlage der Computerwelt aus Einsen und Nullen. Gründung der »Arbeitsstelle für Molekulartechnik« (AME) durch den Physiker Werner Hartmann in Dresden zur Entwicklung und Herstellung integrierter Schaltkreise Gründung des VEB Spurenmetalle Freiberg; 1966 Beginn der Produktion von monokristallinen Siliziumblöcken und Wafern Clemens Winkler, Chemiker an der Bergakademie Freiberg, entdeckt das Element »Germanium« – das erste Halbleitermaterial. Gründung der Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) – heute einer der weltweit führenden Hersteller von GaAsWafern – durch die israelische Federmann Enterprises Ltd. Gründung des Siemens Micro electronics Center Dresden (ab 1999 Infineon Technologies Dresden) Start der Produktion von Solarsilizium-Wafern durch die Bayer Solar GmbH in Freiberg (2000 Übernahme durch SolarWorld AG) Bis 2000 Entwicklung der 300-mmTechnologie durch Infineon Technologies Dresden und Motorola; Bau der ersten 300-mmFabrik der Welt Start der Produktion von Reinst-Silizium am Standort Freiberg durch die bayrische Wacker Siltronic GmbH (heute Siltronic AG) Erster Spatenstich für die AMD Fab 30 in Dresden; 1999 Eröffnung des Werkes Gründung der Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) – ein Joint-Venture von AMD (heutiger Partner GLOBALFOUNDRIES) und Toppan Photo masks – zur Entwicklung und Pilotproduktion von Photomasken Weltweit erste Einführung der Kupfertechnologie in der Dresdner AMD Fab 30 Erster Spatenstich für die AMD Fab 36 – AMDs erste Produktionsstätte auf Basis von 300 -mm-Wafern; Produktionsstart 2005 Beginn des Ausbaus der AMD Fab 30 (200 -mmTechnologie) zur Fab 38 (300 -mmTechnologie) Im März 2009 nimmt GLOBALFOUNDRIES INC. die Geschäftstätigkeit auf. Als Joint-Venture von AMD und der ATIC Company (Abu Dhabi) übernimmt es die Fertigungsstandorte von AMD weltweit, produziert aber auch für andere Halbleiterhersteller. 2012 übernimmt ATIC alle Anteile. GLOBALFOUNDRIES legt ein 2-Mrd.-DollarInvestitionsprogramm für den Ausbau seines Dresdner 300-mmWerkes auf. Infineon Technologies investiert 200 Mio. Euro in die Kapazitätserweiterung seiner Dresdner 200-mmFab. SolarWorld AG erweitert Standort Freiberg – dritte Modulfertigung, Ausbau Logistikzentrum, neues FuE-Zentrum Infineon Technologies gibt den Ausbau (250 Mio. Euro) der Dresdner Fab für die Fertigung von Leistungshalbleitern auf Basis von 300-mm-Wafern bekannt. Intel eröffnet einen Entwicklungsstandort in Dresden – die Intel Mobile Communications Technology Dresden GmbH. Eröffnung des HelmholtzInstituts Freiberg für Ressourcentechnologie, ein gemeinsames Projekt des Helmholtz-Zentrums Dresden-Rossendorf und der TU Bergakademie Freiberg Start der weltweit ersten Produktion von flexiblen organischen Solarfolien mittels Vakuumdeposition durch die Dresdner Heliatek GmbH 7 Mikro! Unternehmen Mikro- und Nanoelektronik Die GLOBALFOUNDRIES Fab 1 in Dresden wird derzeit zum größten europäischen Halbleitwerk ausgebaut und zählt zu den produktivsten und modernsten Waferfabriken weltweit. Die Fab 1 ist GLOBALFOUNDRIES‘ Leitstandort mit mehr als 3.400 hoch qualifizierten Ingenieuren, Technikern und Spezialisten sowie einem Investitionsvolumen von bisher weit mehr als 8 Mrd. US-Dollar. Das Unternehmen fertigt in Dresden Chips in 45-, 40-, 32- und 28-nm-Technologien für Kunden aus aller Welt. 8 Die Infineon Technologies Dresden GmbH ist einer der größten Fertigungsstandorte der Infineon AG, in den seit 1994 über 3 Mrd. EUR investiert wurden. Im sächsischen Werk werden hochwertige Chips auf 200-mm-Siliziumscheiben hergestellt. Im Jahr 2011 hat der InfineonVorstand entschieden, Dresden als weltweit ersten HochvolumenStandort für die Produktion von Leistungshalbleitern auf 300-mmSilizumscheiben auszubauen. Helmut Warnecke Die X-FAB Dresden GmbH & Co. KG ist eine Halbleiter-Foundry und fertigt im Kundenauftrag analog-digitale integrierte Schaltkreise. Am Standort Dresden werden von ca. 400 Mitarbeitern Mixed-Signal-Technologien bis 0,35 µm auf 8-Zoll-Siliziumwafern hergestellt. Als Bestandteil der weltweit agierenden X-FAB-Gruppe ist X-FAB Dresden auch wesentlich an der Entwicklung hocheffektiver Mixed-Signal-Technologien für Strukturbreiten bis 0,18 µm beteiligt. Die SAW COMPONENTS Dresden GmbH entwickelt und fertigt Mikrochips und elektronische Bauelemente für alle Bereiche der Hochfrequenz- und Funkübertragungstechnik, Sensorik und Funkidentifikation auf der Grundlage des Oberflächenwelleneffekts (Surface Acoustic Waves – SAW). Bis zu drei Mio. SAW-Chips verlassen wöchentlich das Dresdner Werk. Zum Einsatz kommen sie z. B. in Mobiltelefonen, GPSGeräten und Funkfernbedienungen. Die Zentrum Mikroelektronik Dresden AG (ZMDI) ist ein weltweit führender Entwickler von Mixed-Signal-Halbleiterlösungen für die Märkte Automobil, Medizin- und Konsumgüter sowie Industrieautomation. »Nur wenige Chiphersteller weltweit bedienen ein so breites Produktspektrum wie Infineon: In Dresden stellen wir mehr als 200 verschiedene Logikschaltkreise für ganz unterschiedliche Anwendungsbereiche her und bauen aktuell die weltweit erste Hochvolumenproduktion für Leistungshalbleiter auf 300-mm-Silizumscheiben auf. Das geht natürlich nur mit hoch qualifizierten, erfahrenen und motivierten Mitarbeitern und einer exzellenten Infrastruktur, wie wir sie hier in Dresden seit mehr als achtzehn Jahren vorfinden.« (Geschäftsführer, Infineon Technologies Dresden GmbH) Foto Seite 7 In der Fertigung bei Infineon Technologies Dresden durchlaufen jede Woche Tausende von Silizumscheiben die hochkomplexe Fertigung in Reinraumklasse 1. Foto unten rechts SAW COMPONENTS stellt Mikrochips im Waferverbund und als fertiges Bauelement her. Hohe technologische Sicherheit und umfangreiche Erfahrungen kommen den Kunden dabei sowohl bei Groß- als auch bei individuellen Kleinserien zugute. Foto rechts Derzeit wird die Kapazität der GLOBALFOUNDRIES Fab 1 in Dresden erheblich erweitert. Bei Vollausbau wird die Fab über eine Gesamtkapazität von 80.000 300-mm-Waferstarts pro Monat verfügen. Ein Produkt-Beispiel ist der intelligente Batterie-Monitor-Mikrochip ZSSC1856, der durch Ladekontrolle bei Lithium-Ionen-Batterien Energie einspart. Außerdem wird durch die gezielte Überwachung des Ladebzw. Entladeprozesses Schaden abgewehrt und somit die Lebensdauer der Batterien verlängert. Die DMOS GmbH Dresden entwickelt anwendungsspezifische (ASICs) und Standard-Schaltkreise (ASSPs) für Anwendungen in der Automobilund Automatisierungstechnik, darunter Motor-Controller für Lüftungen und Klimaanlagen sowie Power-Management- und Bus-Sende- und Empfangs-Bausteine für die Bordkommunikation von Personen- und Lastkraftfahrzeugen. Die Photronics MZD GmbH in Dresden ist eine Tochter der amerikanischen Photronics Inc. Das Unternehmen stellt photolithografische Masken für Chiphersteller in Europa und Asien her. Außerdem entwickelt es Masken mit Strukturbreiten von 100 nm, z. B. für spezielle optische und lithografische Anwendungen. Dr. Rutger Wijburg »Der Dresdner GLOBALFOUNDRIES-Standort trägt seit 15 Jahren zum guten Ruf Sachsens als führendem europäischen Mikroelektronik-Cluster bei. Mehr als 3.400 Mitarbeiter arbeiten bei uns im größten und modernsten Chipwerk Europas an innovativen Technologielösungen für Kunden aus der ganzen Welt. Diese Erfolgsgeschichte baut auf den Standortstärken der Region auf – hervorragend ausgebildete Mitarbeiter, exzellente Ausbildungseinrichtungen, innovative Forschungsinstitute sowie ein technologiefreundliches Umfeld. Wir freuen uns darauf, auch zukünftig Technologieinnovationen aus Dresden heraus vorantreiben zu können.« (Senior Vice President und General Manager, GLOBALFOUNDRIES Fab 1 Dresden) 9 »Cool Silicon« In dem sächsischen Spitzencluster entwickeln über 100 Partner aus Forschung und Industrie gemeinsam Lösungen, die den Energieverbrauch im Bereich der IKT deutlich senken. Die Ergebnisse der Arbeit können sich sehen lassen. – So wurde z. B. die Batterielaufzeit in Laptops mittels der neuartigen HKMG-CMOS-Technologie von 8 auf über 10 Stunden erhöht. Ein innovativer Leistungsverstärker senkt den Energiebedarf von mobilen Geräten um 15 %, von Basisstationen um 30 %. Und gemeinsam entwickelte Überwachungssensoren für Flugzeuge sparen bis zu 25 Tonnen Kerosin auf Transatlantikflügen. 10 Die Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC) ist ein Joint Venture von GLOBALFOUNDRIES und Toppan Photomasks. Mit dem AMTC ist in Sachsen ein weltweit führendes Zentrum für die Forschung, Entwicklung und Produktion von Photolithografie-Masken entstanden. Die Nähe zu den Fertigungs-Standorten von GLOBALFOUNDRIES und Infineon erlaubt eine besonders enge Kooperation, um schnell auf Kundenanforderungen reagieren zu können. Im sächsischen Freiberg decken fünf Tochtergesellschaften der SolarWorld AG alle Produkte und Prozesse der photovoltaischen Wertschöpfungskette ab – vom Solarsilizium (JSSi GmbH – Joint Solar Silicon) über die Wafer (Deutsche Solar GmbH) und Solarzellen (Deutsche Cell GmbH) bis hin zu Modulen (SolarFactory GmbH). Auch das Recycling von (Solar)Silizium (Deutsche Solar GmbH) sowie die Bündelung der gesamten Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten (SolarWorld Innovations GmbH) finden in Freiberg statt. Foto links Das AMTC liefert technologisch führende Photomasken an GLOBALFOUNDRIES sowie an das europäische und weltweite Kundennetzwerk von Toppan Photomasks Inc. Die Produktionseinrichtungen von Toppan Photomasks in Dresden sind in die Fertigung des AMTC integriert. Foto oben rechts In »Area 1 – Mikro- und Nanotechnologien: Technologien für energieeffiziente Computing-Plattformen« des Spitzenclusters »Cool Silicon« entwickelt GLOBALFOUNDRIES gemeinsam mit vielen Partnern Basistechnologien und Analyse- und Produktionsmethoden für die Herstellung energieeffizienter Elektronik. Dr. Christoph von Plotho »Wir haben uns 1995 für den Standort Freiberg entschieden und die letzten 17 Jahre haben gezeigt, wie richtig diese Entscheidung war. Heute ist Freiberg ein wichtiger Produktionsstandort für 300-mm-Wafer. Das kommt nicht von ungefähr, denn hier in Sachsen hat die Mikroelektronik eine jahrzehntelange Tradition. Darum finden wir in dieser Region auch genau die gut ausgebildeten Mitarbeiter, deren Kompetenz und Leistungsbereitschaft mit die Grundlage für unseren wirtschaftlichen Erfolg legen.« (Vorstandsvorsitzender, Siltronic AG) Foto oben rechts Die Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) zählt zu den Technologieführern ihrer Sparte und deckt mit ihren Produkten – halbisolierende und halbleitende Wafer bis 150 mm Durchmesser (200 mm in Ent wicklung) – alle wesentlichen Anwendungsgebiete für GaAs-Substrate ab. Neue Materialien Die Siltronic AG verfügt an ihrem Standort in Freiberg über eine hochmoderne Tiegelziehfabrik für Siliziumeinkristalle bis 300 mm Durchmesser sowie eine der weltweit modernsten Fertigungslinien für 300-mm-Siliziumwafer. Siltronic hat hier seit 1996 circa 825 Mio. Euro investiert und beschäftigt mehr als 900 Mitarbeiter. Die Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) ist einer der weltweit führenden Hersteller von Galliumarsenid-Substraten (GaAs) für Hochfrequenzleistungsbauelemente. FCM ist dabei das einzige Unternehmen, das beide Herstellungsverfahren zur Züchtung von Einkristallen beherrscht – LEC (Liquid Encapsulated Czochralski) und VGF (Vertical Gradient Freeze). Seit der Gründung 1995 durch den israelischen Mutterkonzern, Federmann Enterprises Ltd., wurden am Standort über 110 Mio. Euro investiert und ca. 250 Arbeitsplätze geschaffen. Mit derzeit fast 40 Mitarbeitern entwickelt und produziert die AZZURRO Semiconductors AG am Standort Dresden Galliumnitrid- Wafer auf Siliziumsubstraten und nutzt dafür ein weltweit einzigartiges Verfahren. Die Wafer werden u. a. in der Fertigung kostengünstiger Leuchtdioden sowie energieeffizienter Elemente für die Leistungselektronik eingesetzt. Verglichen mit herkömmlichen Galliumnitrid-Wafern erlauben die AZZURRO-Wafer eine Weiterverarbeitung auf StandardFertigungslinien der Halbleiterindustrie, wodurch sich massive Kosteneinsparungen erzielen lassen. Die AIR LIQUIDE Electronics GmbH in Ottendorf-Okrilla, eine Tochterfirma des französischen Weltmarktführers Air Liquide S.A., versorgt mit über 100 Mitarbeitern namhafte in Sachsen ansässige Halbleiterhersteller mit Gasen und gastechnischen Ausrüstungen sowie Service. Die bubbles & beyond GmbH aus Leipzig entwickelt intelligent fluids® – umweltverträgliche Formulierungen für Entschichtungs- und Reinigungsschritte in mikroelektronischen Prozessen, z. B. für das Ablösen des Fotoresistlackes auf Wafern. Durch Verwendung sanfter chemischer Formulierungen sind beim Anwender Prozessverkürzungen möglich und 11 der Einsatz aggressiver Prozesschemikalien sinkt. Weiterhin bietet bubbles & beyond Produkte zur Teilereinigung nach Vakuumprozessen, z. B. die Entfernung von organischen Resublimaten oder Farbstoffen, an. Nanotechnologie 12 Die AXO DRESDEN GmbH ist ein Spin-off aus dem Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden und entwickelt und produziert Röntgenoptiken und Hochpräzisionsbeschichtungen. Mit ihren sich ergänzenden Präzisionsbeschichtungsverfahren können Einzel- und Multischichten im Nanometerbereich mit extrem hoher Präzision hergestellt werden. Die VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH entwickelt und fertigt in Dresden Anlagen für industrielle nano- bis mikrometerdünne Beschichtungen auf großflächigen Materialien wie Glas, Metallband oder Kunststofffolie. Dabei kommen Technologien wie Magnetron-Sputtern und Elektronenstrahlverdampfen zur Anwendung. Die VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH ist ein Hersteller von kundenspezifischen Vakuum-Beschichtungssystemen. Im Fokus stehen dabei energieeffiziente und umweltgerechte Anlagensysteme zur PVDVakuumbeschichtung von Kunststoff, Glas, Keramik und Metall. Zur Weltspitze gehören die hochproduktiven Kurztakt-Sputtersysteme zur Metallisierung von Automobilreflektoren, sowie ein modular aufgebautes PVD-System für die Hochrate-Abscheidung von superharten, amorphen DLC-Schichten. Die Dresdner CREAVAC – Creative Vakuumbeschichtung GmbH bietet innovative Beschichtungen an und baut Vakuumbeschichtungsanlagen. Mit verschiedenen Verfahren erzeugt das Unternehmen technische und dekorative Oberflächen mit Metallen bzw. Lacken und entwickelt Schichtsysteme für unterschiedlichste Anwendungen. Die Dresdner Saxray GmbH entwickelt, fertigt und vertreibt Komponenten und Systemlösungen für hochpräzise Röntgen- und Spezialanalytik, mit der sich Materialien zerstörungsfrei und einfach untersuchen lassen. Dabei geht es um sich selbst einstellende Röntgenoptiken, die Foto unten links Das Produktionsgebäude der VON ARDENNE Anlagentechnik am Standort Dresden-Weißig »glänzt« durch eine 300 -qm-Solarfassade mit CIS -Solarmodulen. Das für die 420 Module verwendete Glas wurde auf firmeneigenen Anlagen beschichtet. Foto unten mitte Die intelligent fluids®-Entschichter von bubbles & beyond (im Bild: Anwendung auf einem Wafer zur Entfernung von Fotoresistlack) entfernen hartnäckige Verschmutzungen in der Mikroelektronik hocheffektiv. Dies geschieht durch physikalische Effekte. Ein chemisches Auflösen oder Ätzen findet nicht statt. Foto unten rechts Die META ROT von VTD Vakuumtechnik (im Bild: Blick in die Vakuumkammer mit bestücktem Substrathalter im Vordergrund) ist eine flexible, horizontale Kurztakt-Sputteranlage zum Metallisieren einschließlich Schutzbeschichtung von Kunststoffbauteilen und konzipiert für den Einsatz in Taktstraßen. Foto unten links Die Signalion GmbH bietet als erste Firma überhaupt integrierte PrototypingKomplettlösungen für digitale Funksysteme aus einer Hand an. Kunden schätzen dieses Angebot – es gibt dadurch keine Probleme mit Schnittstellen, inkompatibler Hardware oder fehlenden Software-Treibern. Foto unten rechts Das junge Dresdner Unternehmen Saxray ist ein gemeinsames Ausgründungsprojekt des Helmholtz-Zentrums Dresden-Rossendorf (HZDR), der TU Bergakademie Freiberg und der TU Dresden (im Bild: Herzstück der Röntgenoptik – ein patentierter Röntgenspiegel). es u. a. erlauben, auch kleinste strukturelle Unterschiede auf atomarer Ebene – z. B. in Halbleitern – nachzuweisen. Intelligente Kommunikation Die Intel Mobile Communications Technology Dresden GmbH ist seit Mai 2011 ein LTE-Entwicklungsstandort von Intel Mobile Communications. An der Entwicklung von Basisband-Chiptechnik für den Mobilfunkstandard der vierten Generation arbeitet das Team am Standort Dresden bereits seit einigen Jahren. Die Kernkompetenzen liegen im Bereich Design für energieeffiziente mobile Breitband-Modems. 2003 als Start-up in Dresden gegründet, ist die Signalion GmbH heute ein weltweit etablierter Hersteller von Messtechnik und Speziallösungen für den Mobilfunk mit besonderem Fokus auf dem neuen Standard LTE. Als erstes Unternehmen brachte Signalion mit seinem Produkt SORBAS eine LTE-Test-UE, mit seinem Produkt RHT100 einen Remote-RadioHead-Tester und mit seiner AMC-SRRM eine integrierte RF im µTCA/ AMC-Format erfolgreich auf den Markt. Die NanoelektronikZentrumDresden GmbH stellt auf rund 8.000 m2 in zwei Gebäuden Flächen und gemeinschaftlich nutzbare Einrichtungen wie z. B. Reinräume für Start-up-Unternehmen der Mikround Nanoelektronik-Branche zur Verfügung. In unmittelbarer Nachbarschaft zu zwei Fraunhofer-Instituten und industriellen Partnern wie der ZMDI AG, Photronics MZD oder X-FAB bietet das Zentrum optimale Voraussetzungen für geschäftlichen Erfolg. Die RadioOpt GmbH Dresden ist eine Ausgründung des Stiftungslehrstuhls Mobile Nachrichtensysteme der Technischen Universität Dresden. Seit 2008 entwickelt das Unternehmen Softwarelösungen für die Qualitätsmessung in Mobilfunknetzen. Die KOMSA Kommunikation Sachsen AG mit Hauptsitz bei Chemnitz gehört zu den führenden europäischen Dienstleistern der IKTBranche. Das inhabergeführte Unternehmen ist mit über 1.300 Mitarbeitern in den drei Kernbereichen Großhandel, Integrierte Dienstleistungen und Reparaturservice tätig. KOMSA führt das zweitgrößte Reparaturcenter für Mobiltelefone in Deutschland, in dem monatlich über 100.000 Handys, Smartphones und Tablets aller bekannten Hersteller instand gesetzt werden. MEMS / Smart Systems Die Firma MICRO-EPSILON Optronic GmbH in Dresden gehört seit ihrer Gründung im Jahr 1993 zur MICRO-EPSILON-Firmengruppe. Das Unternehmen hat sich auf die Entwicklung und Pro- 13 14 duktion von optoelektronischen Sensoren und Systemen für das präzise berührungslose Messen geometrischer Dimensionen, Geschwindigkeit und Farbe spezialisiert. Die ADZ NAGANO GmbH entwickelt und produziert bei Dresden Drucksensortechnik. Mit einem Team von rund 100 Mitarbeitern hat sich das Unternehmen zu einem international gefragten Hersteller von Druckmessumformern und Drucktransmittern entwickelt. Sie werden in vielen Bereichen eingesetzt, beispielsweise in der Prozess-, Umwelt-, Automatisierungs- und Kfz-Technik. Die GEMAC – Gesellschaft für Mikroelektronikanwendung Chemnitz mbH ist ein Dienstleister für Forschungs-, Entwicklungs- und Fertigungsarbeiten in der Messtechnik und Sensorik. Vom Sensor- und ASIC-Design über elektronische Baugruppen bis hin zur Fertigung eigener Produkte bietet das Unternehmen seinen Kunden angepasste Komplettlösungen. Die Microelectronic Packaging Dresden GmbH (MPD) ist Auftragsfertiger und bietet die Entwicklung und Herstellung von elektronischen Sensoren und Mikrosystemen an. Mit modernsten Verfahren der Aufbau- und Verbindungstechnik verarbeitet MPD Halbleiterchips in Reinräumen der ISO-Klassen 8 bis 5. Dabei kommen bewährte Technologien zur Herstellung von Bauelementen bis hin zu komplexen Modulen und Systemen zur Anwendung. Neben Mustern und Kleinserien werden Stückzahlen im Millionenbereich hergestellt. Die Silicon Micro Sensors GmbH in Dresden entwickelt, fertigt und vertreibt integrierte optische und mikromechanische Sensorsysteme, Komponenten und Module. Diese kommen in CMOS-Kamerasystemen und MEMS-Drucksensoren für Automobilbau, Sicherheitstechnik, Medizintechnik sowie Industrieelektronik zum Einsatz. Organische und Gedruckte Elektronik Sachsen ist mit fast 40 Unternehmen und 17 Forschungseinrichtungen der größte europäische Cluster der organischen Elektronik und gehört zu den TOP-5-Standorten im internationalen Vergleich. Foto oben links Als Tochterunternehmen der KOMSA AG im Jahr 2000 gegründet, hat sich die w-support.com GmbH auf die Reparatur von IT- und Telekommunikationsgeräten spezialisiert – mit über einer Million Reparatureingängen pro Jahr (im Bild: Löten per Infrarotunterhitze). Foto oben Mitte Die Druckmessumformer von ADZ Nagano kommen insbesondere in mobilen Anwendungen, wie beispielsweise Mobilhydraulik, Motormanagement, Öldruck- oder Bremssystemen sowie bei Brennstoffzellen und anderen Hochtemperaturanwendungen zum Einsatz. Foto oben rechts Micro-Epsilon Optronic setzt verschiedene physikalische Prinzipien, wie Triangulation, Lichtschnittverfahren oder Schattenwurf für seine Sensoren und Messgeräte ein, die berührungslos ein- und mehrdimensionale Messgrößen wie Weg, Abstand, Position, Profil oder Kontur erfassen (im Bild: Geschwindigkeits- und Längenmessung bei der Blechverarbeitung). Der »Smart Systems Campus Chemnitz« ist ein Technologiepark mit enger Verflechtung von Wissenschaft, Forschung und Industrie auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Der fast 6,5 Hektar große Campus befindet sich in unmittelbarer Nachbarschaft zur Technischen Universität Chemnitz sowie zu den Fraunhofer-Instituten für Elektronische Nanosysteme (ENAS) und für Werkzeugmaschinen und Umformtechnik (IWU). Er verbindet auf kurzen Wegen renommierte Forschungs-Einrichtungen, dynamische Start-ups sowie weltweit agierende Unternehmen, die zu den Marktführern ihrer Branche gehören. Foto oben links Mit einer Ansiedlung im Start-up-Gebäude des Smart Systems Campus Chemnitz profitieren Existenzgründer von der intelligenten Infrastruktur. So können sie z. B. universitäre Einrichtungen wie die Bibliothek, Forschungsräume und Reinräume nutzen und damit intensiv an Forschungsergebnissen teilhaben. Foto oben rechts Die Novaled PIN-OLED-Technologie bietet enormes Potenzial für alle Bereiche der organischen Elektronik – besonders dort, wo die molekularen Dotanden effizientere Halbleiter ermöglichen. (im Bild: hocheffizientes, weißes OLED für die Anwendung in Leuchten und Displays der Zukunft) Die Novaled AG ist eine Ausgründung der Technischen Universität Dresden und hat im Bereich der organischen Leuchtdioden (OLED) Pionierarbeit geleistet. Das Unternehmen besitzt über 500 Patente und beliefert Kunden weltweit mit Technologien und Materialien zur Herstellung besonders leistungseffizienter OLEDs für Beleuchtungs- und Displayprodukte – letztere inzwischen in Massenproduktion. Die LEDON OLED Lighting GmbH & Co. KG in Dresden – ein Joint Venture der österreichischen Zumtobel-Gruppe und der Fraunhofer-Gesellschaft – entwickelt und produziert innovative Lichtmodule auf Basis von organischen Leuchtdioden. Diese OLED-Lichtmodule werden in flächigen Beleuchtungslösungen und Signalanzeigen angewandt. Die CreaPhys GmbH ist eine Ausgründung der Technischen Universität Dresden und spezialisiert sich auf Verfahren zur Beschichtung und Materialreinigung in der Herstellung organischer Dünnschichten (für OLEDs und Solarzellen) und verfügt über umfassendes Know-how im Bereich der organischen Opto-Elektronik. Darüber hinaus entwickelt und fertigt CreaPhys Anlagen zur Aufreinigung der verwendeten organischen Substanzen. Die Printechnologics GmbH Chemnitz ist der führende Technologieentwickler für gedruckte Funktionalitäten. Das Unternehmen entwickelt elektronische Systeme, die einfach und problemlos mit Standarddruckmaschinen hergestellt werden können. Die Datencodes sind zu 100 % recycelbar und lassen sich über den Touchscreen eines handelsüblichen Smartphones auslesen. Das innovative Portfolio des Unternehmens wird in Zusammenarbeit mit dem strategischen Partner 3M kontinuierlich erweitert. Plastic Logic wurde 2000 von Forschern der Cambridge University gegründet und errichtete 2007 die weltweit erste Volumenfertigung zur Herstellung von flexiblen E-Paper-Displays – die Plastic Logic GmbH in Dresden. Das Unternehmen produziert heute flexible Schwarzweiß- und Farb-Kunststoffdisplays in unterschiedlichen Größen. Die Displaytechnologie ermöglicht die vielfältigsten robusten und leichten Endgeräte und Anwendungen – Smartphones, Smartcards oder zukünftig auch großflächige Sensoren. 15 Die Heliatek GmbH ist eine gemeinsame Ausgründung der Technischen Universität Dresden und der Universität Ulm. Heliatek entwickelt und produziert Solarzellen aus organischen Materialien und verwendet dabei eine patentgeschützte Tandemzellen-Technologie, die einen sehr breiten Bereich des Sonnenspektrums ausnutzt. Das Unternehmen hält derzeit mit einem Wirkungsgrad von 10,7 Prozent den Effizienz-Weltrekord für organische Solarzellen. Fortschrittliche Fertigungssysteme 16 Die zur schweizerischen Meyer-Burger-Gruppe gehörende Roth & Rau AG in Hohenstein-Ernstthal ist einer der weltweit führenden Anbieter von Fertigungstechnologien für die Photovoltaikindustrie. Die Roth & Rau-Tochter MicroSystems GmbH hat sich mit anspruchsvollen technologischen Lösungen zur Anwendung von Plasma- und Ionenstrahlverfahren für die Beschichtung, Strukturierung und Modifizierung von Oberflächen auf den Bereich Mikroelektronik und Optik spezialisiert. Die FHR Anlagenbau GmbH entwickelt nahe Dresden Dünnschicht- Foto links Die Heliatek-Technologie ermöglicht eine kostengünstige und effiziente Rolle-zuRolle-Produktion von großflächigen Modulen auf preiswerten, flexiblen Substraten. Die hauchdünnen Solarfolien wiegen nur 500 g/m² und sind weniger als 1 mm dünn. So können die Folien in vielseitige Anwendungen integriert werden. Foto unten Mitte Zu den serienreifen Produkten von Printechnologics gehört »Touchcode«, eine kostengünstige und einfach einsetzbare Anwendung, um nahezu jedes gedruckte Erzeugnis digital aufzuwerten und funktional zu erweitern. Foto unten rechts Das modulare Fertigungssystem microFLEXTM von 3D-Micromac arbeitet im Rolle-zu-Rolle-Verfahren und ist in der Lage, den Aufwand für die BauteileFertigung – z. B. von flexiblen Solarzellen, gedruckten Batterien, RFID-Etiketten oder rollbaren Displays – drastisch zu reduzieren. Foto unten rechts Plastic Logic hat eine revolutionäre Kunststofftransistorentechnologie entwickelt, mit der es möglich ist, Elektronik auf flexiblen Folien oder Plastikfolien herzustellen. Das Unternehmen arbeitet auch an Lösungen für andere Anwendungen jenseits von flexiblen Displays, wie zum Beispiel für großflächige Sensoren. technologien im Bereich physikalischer und chemischer Beschichtungen (PVD, CVD) sowie entsprechende Ätztechnologien mit dem Ziel der Umsetzung in Anlagenkonzepte für die industrielle Produktion. Lasermikrobearbeitung ist die Kernkompetenz der 3D-Micromac AG in Chemnitz. Sie entwickelt und produziert Maschinen für den Einsatz in der Produktion von Photovoltaik-Bauelementen, in der Halbleiterfertigung, der Medizintechnik und der digitalen Herstellung von gedruckten Funktionalitäten. Die Laseranlagen werden sowohl als Stand-AloneSysteme oder zur Integration in bestehende, vollautomatisierte Produktionslinien geliefert. Ein weiterer Schwerpunkt liegt auf Maschinen für die Rolle-zu-Rolle-Bearbeitung von dünnen Schichten auf flexiblen Trägersubstraten. Die DAS Environmental Expert GmbH in Dresden bietet ressourcenschonende Lösungen für die umweltgerechte Reinigung von Prozessabgasen in der Halbleiter-, Solar-, LED- und FPD-Industrie an. Das Portfolio umfasst insgesamt neun Produktfamilien, die Abgase aus z. B. CVD-, Etch- und Epitaxy-Prozessen sicher und kostengünstig entsorgen. Dr. Horst Reichardt »Zur Erfolgsgeschichte von ›Silicon Saxony‹ als führendem europäischen Halbleiterstandort hat DAS mit seiner Expertise für Umwelt-Technologien ein eigenes Kapitel beigetragen. Als Familienunternehmen in der Region fest verwurzelt, beliefern wir heute die weltweit führenden Fabs und Foundries der Mikroelektronikbranche. Im Bereich der umweltverträglichen Aufbereitung von Prozessabgasen sind wir ein Global Player und entwickeln unsere Technologien kontinuierlich weiter.« (Geschäftsführer, DAS Environmental Expert GmbH) In einem zweiten Geschäftsfeld bietet DAS Environmental Expert auch Lösungen zur Abwasserbehandlung an. Die Cascade Microtech GmbH, eine Tochter der US-amerikanischen Cascade Microtech, Inc., ist ein führender Hersteller von Wafer-TestLösungen. Am sächsischen Standort bei Dresden entwickelt und fertigt das Unternehmen seit 20 Jahren innovative Systeme zum Engineering- und Produktionstest von Halbleitersubstraten. Die Mitarbeiter der SGS INSTITUT FRESENIUS GmbH in Dresden sind gefragte Spezialisten in der Analyse ultradünner Schichten. Als Tochter des schweizerischen SGS S.A.-Konzerns beherrscht sie mit rund 400 Materialuntersuchungstechniken die gesamte Palette der abbildenden und analysierenden Verfahren. In allen Produktbereichen der Nanotechnologie – und insbesondere in der Prozessund Qualitätskontrolle – sind solche Verfahren unverzichtbar. Bereits seit Jahren ist die M+W Group in Dresden mit einem Kompetenzzentrum für Hook-up Services, für das rund 150 17 Spezialisten tätig sind, aktiv. An der Planung und Ausführung der wichtigsten Produktionsstätten der Halbleiterindustrie in Sachsen – darunter die von Infineon, GLOBALFOUNDRIES, AMTC und Siltronic – war bzw. ist die M+W Group maßgeblich beteiligt. Im Juni 2011 gründete der internationale Anlagenbauer die Tochtergesellschaft M+W Integrated Solutions GmbH mit Sitz in Dresden, um sein Geschäft mit Hightech-Dienstleistungen in Europa auszubauen. 18 auch komplette Turnkey-Projekte. Die Ingenieure, Konstrukteure, CAD-Spezialisten und Monteure arbeiten anhand kundenspezifischer Anforderungen. Software, Hardware und IT Mit 155 Mitarbeitern beliefert die XENON Automatisierungstechnik GmbH von Dresden aus Automotive-, Elektronik-, Photovoltaik- und Medizintechnikkunden mit Maschinen für die automatisierte Fertigung von Elektronikprodukten. Neuentwicklungen sind u. a. flexible Fertigungslinien für Sensoren, die 3D-Montage von MID-Produkten und Ausrüstungen zur Herstellung flexibler Solarzellen. Zum Unternehmen gehört auch eine Tochtergesellschaft in China. Die 140 Mitarbeiter der SYSTEMA Systementwicklung Dipl.-Inf. Manfred Austen GmbH in Dresden entwickeln und realisieren Endto-End-IT-Lösungen für die Halbleiter- und Elektronikindustrie sowie für Automotive, Medizintechnik und Erneuerbare Energien. Zu den Kunden gehören u. a. ABB, Infineon, GLOBALFOUNDRIES und Bosch. Das Portfolio reicht von der Anlagenintegration über die Automatisierung von Fertigungsabläufen bis hin zur Implementierung und Erweiterung von Manufacturing Execution-Systemen und deren Einbindung in ERPbzw. Supply Chain-Management-Systeme. Der Standort Dresden der Kinetics Germany GmbH realisiert Lösungen in der Prozessmedienversorgung für die Mikroelektronik-, Solar- und Bio-Pharmaindustrie sowie weitere Märkte und seit 2007 In der Vertriebs- und Consulting-Niederlassung der SAP AG in Dresden helfen rund 500 IT-Spezialisten Firmen, ihre Prozesse entlang der Wertschöpfungskette zu optimieren, Softwarelösungen zu modellieren und zu Foto unten links Kinetics Germany verfügt über umfangreiche Erfahrung in der Konstruktion, Fertigung und Montage von Reinstmediensystemen für Chemikalien, Slurries, Gase und Reinstwasser, wie sie in der Mikroelektronik, Photovoltaik und anderen Spitzentechnologien Anwendung finden. Foto unten Mitte Das XENON-Präzisionsmontagemodul SPACE 400 (Detail im Bild) ist universell für 2D- und 3D-Anwendungen im Bereich der Mikromontage, der MikroDispenstechnik und Bestückung einsetzbar. Mit dem SPACE-400-Modul werden Applikationen im Bereich 3D-MID, LEDBestückung, Sensormontage und Sonderbestückung realisiert. Foto unten links T-Systems Multimedia Solutions belegte mehrfach in Folge den ersten Platz im jährlichen Internetagentur-Ranking des Bundesverbandes Digitale Wirtschaft e. V. (BVDW). Das Unternehmen unterstützt seine Kunden u. a. dabei, innovative Internet- und Präsentationstechnologien (im Bild: »Surface Table« – ein interaktiver Multi-Touch-Screen) im Geschäftsbereich einzusetzen. Foto unten Mitte Die Leipziger Leesys GmbH verfügt über 17.000 qm Fertigungsfläche und eine jährliche Fertigungskapazität von 1,4 Mio. schnurgebundenen Telefonen, 8 Mio. Baugruppen und 1,2 Mrd. bestückten Bauelementen. Foto unten rechts SYSTEMA ist ein weltweit tätiges ITUnternehmen mit Hauptsitz in Dresden (im Bild) und Niederlassungen in Regensburg und Corvallis (USA). Eine Niederlassung in Asien ist in Vorbereitung. konfigurieren sowie mit anderen Speziallösungen zu verbinden und um wichtige Bausteine zu erweitern. Dazu unterhält die SAP am Standort Dresden eine Forschungs- und Entwicklungsabteilung (SAP Research) mit über 100 Mitarbeitern. Die T-Systems Multimedia Solutions GmbH in Dresden zählt zu den größten Internet-Agenturen in Europa. Die T-Systems-Tochter entwickelt internetbasierte Lösungen für Großkonzerne und mittelständische Unternehmen. Rund 1.200 Mitarbeiter übersetzen für Kunden aus allen Branchen Web-Innovationen in Dienstleistungen für den digitalen Lebens- und Geschäftsraum. Hierzu gehören u. a. Lösungen für E-Commerce, Inter- und Intranet-Portale, »Social Business« sowie Web-IT-Management. Die COMPAREX AG mit Hauptsitz in Leipzig zählt zu den führenden herstellerunabhängigen IT-Dienstleistern in Europa. Rund 1.800 Mitarbeiter sind an 75 Standorten in 28 Ländern weltweit aktiv. COMPAREX bietet Software, Consulting und Services herstellerübergreifend und aus einer Hand. Fokusthemen sind IT-Infrastruktur, Virtualisierung, Büroarbeit und Kommunikation, IT-Security, Systems Management und Cloud Computing. Die Leesys – Leipzig Electronic Systems GmbH bietet als Systemdienstleister mit Standort in Leipzig umfassende Electronic Manufacturing Services von der Entwicklung über die Fertigung von elektronischen Baugruppen, die Highend-Kunststoffverarbeitung für Gehäuse bis hin zu Montage und Versand der kompletten Geräte sowohl in Kleinserien- als auch in Massenproduktion. Die BuS Elektronik GmbH & Co. KG entwickelt und fertigt in Riesa elektronische Baugruppen und Systeme. Mit 900 Mitarbeitern ist BuS Elektronik ein bewährter Electronic Manufacturing Services (EMS)Dienstleister für Industrie- und Automobilelektronik, Gebäude- und Sicherheitstechnik, Kommunikationstechnik, Bahn- und Luftfahrttechnik sowie Medizintechnik. Seit 1990 dient der Standort Dresden der TechniSat Digital GmbH als Forschungs- und Entwicklungszentrum für die Bereiche Satellitenemp- 19 fangs- und Digitaltechnik sowie Digitalfernseher. Über 350 Mitarbeiter entwickeln neben TechniSat-Markengeräten für den Endkunden auch speziell zugeschnittene OEM-Konzepte für die Elektronik- und Automobilindustrie. Das Know-how beinhaltet sowohl die Hard- und Software-Entwicklung als auch das Layout und die mechanische Konstruktion der Geräte. 20 Die 1999 als Spin-off der Universitäten Leipzig und Halle gegründete itCampus Software- und Systemhaus GmbH ist heute eine Tochter der Software AG. ItCampus besetzt im Konzern die globalen Kompetenzzentren Mobile Business Solutions, Agile Development Consulting sowie User Experience Design, Consulting & Development. Im Mittelpunkt stehen dabei die Entwicklung mobiler Geschäftsanwendungen, kundenspezifische IT-Lösungen sowie die Produktneuentwicklung. 2005 hat die polnische Comarch S.A. ihre deutsche Vertriebszentrale von Frankfurt am Main nach Dresden verlagert. Das Angebot der Comarch Software AG umfasst Lösungen für die Branchen Telekommunikation, Banken und Versicherungen, Handel und Dienst- leistungen sowie Business-Software für mittelständische Unternehmen. Hosting- und Outsourcing-Services ergänzen die Angebotspalette. Seit mehr als 22 Jahren entwickeln und installieren rund 50 Experten der Chemnitzer MEGWARE Computer Vertrieb und Service GmbH maßgeschneiderte High-Performance-Computing-Lösungen (HPC) und IT-Systemtechnik für Unternehmen und Forschungseinrichtungen in Deutschland und Europa. MEGWARE-Supercomputer stehen für extrem hohe Rechenleistung bei gleichzeitiger Energieeffizienz. Viele der über 500 Systeme stehen in der TOP500-Liste der leistungsfähigsten Supercomputer der Welt. Die Robotron Datenbank-Software GmbH in Dresden entwickelt datenbankgestützte Informationssysteme für die Energiewirtschaft, Industrie und öffentliche Verwaltung. Auftraggeber erhalten SoftwareLösungen und eigene Produkte auf Oracle-Basis. Das Leistungsangebot erstreckt sich von der ersten Idee bis zur Verfahrensbetreuung über den gesamten Software-Lebenszyklus hinweg. Foto unten links Neben der Satellitenempfangstechnik und Digital(fernseh)technik (im Bild: eine Platine) bilden vor allem die vernetzten Autoradio- und Navigations-Geräte der neuen Generation einen Entwicklungsschwerpunkt am TechniSat-Standort Dresden. Hauptkunde ist die hierbei die VW-Gruppe. Foto unten rechts Zu den herausragenden Referenzen von MEGWARE gehören Hochleistungsrechner für das Albert-Einstein-Institut der Max-Planck-Gesellschaft in Potsdam-Golm, für die Gesellschaft für wissenschaftliche Datenverarbeitung mbH in Göttingen oder der Vienna Scientific Cluster 2 (VSC-2, im Bild) an der Technischen Universität Wien. Foto rechts Die an der Fraunhofer-Einrichtung COMEDD in Dresden untersuchten und hergestellten organischen Solarzellen basieren auf Molekülen, die im Hochvakuum verdampfbar sind. (im Bild: Blick durch eine transparente organische Solarzelle) 21 Mikro! Ausbildung & forschung Ausbildung 22 Mit 2.600 Studenten der Elektro- und Telekommunikationstechnik sowie rund 1.800 Informatik-Studenten ist die Technische Universität Dresden die wichtigste »Kaderschmiede« der IT-Branche in Sachsen. Zahlreiche der rund 1.200 Ingenieure, die seit 1997 von AMD bzw. heute von GLOBALFOUNDRIES für die Chipfabriken in Dresden eingestellt wurden und werden, studierten an der TU. Seit 2012 bietet die TU Dresden einen weltweit einzigartigen Studiengang an – den Master in »Organischer und molekularer Elektronik«. In einem neuartigen Lehrkonzept werden die Disziplinen Physik, Chemie, Elektrotechnik und Materialwissenschaften praxisrelevant verbunden. Ob Mikrosensoren für Automobile und Flugzeuge, Aktoren oder gedruckte polymerelektronische Schaltkreise – Wissenschaftler der Technischen Universität Chemnitz arbeiten erfolgreich im engen Kontakt zur Industrie und sorgen für eine praxisnahe Ausbildung in den Bereichen Mikrofertigungstechnik, Print- und Medientechnik, Mikround Nanosysteme, IKT, Intelligent Vehicles, Communication and Sensing, Energie- und Automatisierungssysteme sowie biomedizinische Technik, Elektromobilität und Regenerative Energietechnik. Die Technische Universität Bergakademie Freiberg bringt insbesondere ihre über 240-jährige Kompetenz auf dem Gebiet der Werkstoffwissenschaften in die Ausbildung und Forschung ein. Der Studiengang »Elektronik- und Sensormaterialien« ist ein deutschlandweit einzigartiges Angebot. Die Absolventen sind bei Halbleiterunternehmen sehr begehrt. Die Hochschule für Telekommunikation Leipzig (HfTL) bietet rund 800 Studienplätze. Von der Deutschen Telekom AG gegründet, bildet sie IKT- und TKI-Fachleute in direkten, dualen oder berufsbegleitenden Studiengängen aus. Optische Netze, Übertragungstechnik, Hochfrequenztechnik, Mobilfunk, »Next Generation Network Services« und Wirtschaftsinformatik zählen zu den Spezialgebieten der HfTL. Die dresden chip academy (dca) bietet in enger Kooperation mit Unternehmen Aus- und Weiterbildung in den Bereichen Mikrotechno- Foto unten links Am Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz werden Siliziumscheiben mit mikrometerkleinen mechanischen Strukturen beschichtet – etwa für Anwendungen in der Luftfahrt- und Automobil industrie. Foto unten rechts On-Wafer-Messplatz an der Professur »Elektronische Bauelemente und Integrierte Schaltungen« der TU Dresden zur elektrischen Charakterisierung von sehr schnellen, integrierten Bauelementen. Daraus entwickelte Kompaktmodelle sind die Grundlage für den rechnergestützten Entwurf von energieeffizienten Schaltkreisen in drahtlosen Kommunikationssystemen, z. B. für Mobilfunkanwendungen. Foto unten links Eines der Forschungsgebiete im Geschäftsfeld »Nanoelektronische Technologien« am Fraunhofer-Institut IPMS befasst sich mit Prozess und Simulation von chemisch-mechanischem Planarisieren (CMP). Der Einfluss von Strukturgröße und Verbrauchsmitteln wird dabei anhand eigens entwickelter CMP-Testwafer (im Bild: strukturierter Oxidwafer mit CMP-Testchip) untersucht. Foto unten Mitte Das NaMLab betreibt auf dem Campus der TU Dresden Forschungslabore, Reinräume sowie Büroplätze für insgesamt ca. 40 Forscher und Mitarbeiter. Foto unten rechts Im Reinraumlabor (im Bild) der TU Freiberg stehen Grundtechnologien der Halbleiterfertigung zur Verfügung: der Lithografiebereich zur Strukturierung, ein nasschemischer Bereich für Ätz- und Reinigungsschritte, der Ofen- und CVDBereich zur Temperaturbehandlung und chemischen Schichtabscheidung, der PVD-Bereich zur physikalischen Schichtabscheidung mittels Bedampfungs- und Sputteranlagen. logie, Mikrosystemtechnik, Mechatronik, Elektronik, Automatisierungsund Messtechnik, Instandhaltung, Vakuumtechnik und Solartechnologien an. Außerdem gibt es kooperative Studiengänge für Mikrotechnologie, Mechatronik und Produktionstechnik. Mikro- und Nanoelektronik, Nanotechnologie Die Wissenschaftler des Geschäftsfeldes »Nanoelektronische Technologien« am Fraunhofer-Institut IPMS forschen an der Weiterentwicklung und Charakterisierung von Materialien, Analyse- und Prozessmethoden auf 300-mm-Wafern. Zu den Dienstleistungen gehören dabei u. a. die maskenlose Strukturierung von Wafern durch Elektronenstrahllithografie (E-Beam) oder die Materialanalyse mittels Atomsondentomografie. Die Forscher arbeiten auf über 800 m2 Reinraum- und Laborflächen auf dem Gelände von Infineon Technologies Dresden und arbeiten eng mit der Fab 1 von GLOBALFOUNDRIES zusammen. So ist es möglich, neue Entwicklungen schnell in Fertigungsabläufe einzubauen, was Herstellungskosten und -zeit spart. Die Nanoelectronic Materials Laboratory gGmbH (NaMLab) ist ein An-Institut der Technischen Universität Dresden. Das NaMLab forscht an Materialien für nanoelektronische Anwendungen. Ein Schwerpunkt liegt in der Untersuchung von Materialien für energieeffiziente Halbleiter. Dazu gehört auch die Integration der Materialien in neue Bauelemente und deren elektrische Charakterisierung. Am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V. (HZDR) arbeiten 900 Mitarbeiter an der Entwicklung innovativer Materialien für Speicher- und Computertechnologien der Zukunft. Zur Verbesserung der Qualität von Einkristallen berechnen HZDR-Forscher z. B. die Magnetfelder, die benötigt werden, um aus flüssiger Siliziumschmelze perfekte 300- bzw. 450-mm-Wafer produzieren zu können. Das Zentrum ist auch in der spin- und optoelektronischen Forschung tätig. Gemeinsam mit der TU Bergakademie Freiberg betreibt das HZDR das Helmholtz-Institut Freiberg für Ressourcentechnologie zur Entwicklung neuer Technologien, um mineralische und metallhaltige Rohstoffe effizienter bereitzustellen, zu nutzen sowie umweltfreundlich zu recyceln. 23 24 Das Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) widmet sich der Vakuumbeschichtung sowie der Oberflächenbehandlung mit Elektronen und Plasmen. Die Sputtertechnologie, die plasmaaktivierte Hochratebedampfung, die Elektronenstrahltechnologie und die HochratePECVD werden u. a. für die Dünnschicht-Photovoltaik, die flexible Elektronik sowie für Sensorik und Optik nutzbar gemacht. Das Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren (IZFP), Institutsteil Dresden, entwickelt Mess- und Prüftechniken für Elektronik, Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie sowie Elektronik und Sensorik für Mess- und Prüfsysteme. Das Portfolio schließt Softwareentwicklung, Simulation und Prüfdienstleistungen ein. Weiterer Forschungsschwerpunkt ist die Entwicklung von Ultraschall- und Wirbelstromtechniken. Das Institut für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) an der Technischen Universität Dresden bildet gemeinsam mit dem Zentrum für mikrotechnische Produktion (ZµP) eine der größten universitären Forschungseinrichtungen zum Electronic Packaging in Deutschland. Die Institute befassen sich u. a. mit biokompatiblen AVT, verschiedenen Substrat- und Montagetechnologien, optischen Verbindungstechniken oder 3D-Integration in Packages. Die Forschungsschwerpunkte des Fraunhofer-Technologiezentrums Halbleitermaterialien (THM) in Freiberg liegen zum einen in der Senkung der Herstellungskosten von Halbleitersubstraten und der Entwicklung neuartiger Energiespeicher- und Energiekonversionsmaterialien. Zum anderen beinhalten sie die Analyse materialbedingter Effekte in Solarmodulen und Speichersystemen sowie die Weiterentwicklung von Trenntechnologien für die PV- und Halbleiterindustrie. Intelligente Kommunikation Der Vodafone Stiftungslehrstuhl für Mobile Nachrichtensysteme der Technischen Universität Dresden beschäftigt sich mit der Weiter- und Neuentwicklung mobiler Nachrichtensysteme. Aktuell arbeiten die Mobilfunk-Spezialisten an den Grundlagen für 5G – der Mobilfunkgeneration von übermorgen. Mit einer Datenrate von 10 Gigabit wird mobiles Internet via 5G zehnmal so schnell wie LTE sein. Foto oben links Ein Mitarbeiter des Fraunhofer-Technologiezentrums Halbleitermaterialien bestückt den Laue-XRD-Scanner zur schnellen ortsaufgelösten Bestimmung der Kornorientierung in Halbleitermaterial. Das Gerät wurde zusammen mit der Firma GE Sensing & Inspection Technologies entwickelt. Foto oben Mitte Das Fraunhofer-Institut IKTS Dresden befasst sich u. a. mit elektrochemischen Systemen und Mikrosystemen für die Hybridtechnik, Sensorik und Energiewandlung. (im Bild: Laser für die geometrische Strukturierung von Multilayerkeramik) Foto oben rechts An den industrienahen Pilotanlagen des Fraunhofer-Instituts FEP entwickeln Wissenschaftler Prozesse für die Abscheidung mehrlagiger Schichtsysteme für die Dünnschichtphotovoltaik. Das »Center for Advancing Electronics Dresden (cfAED)« bündelt die Forschungsexpertise von 57 Wissenschaftlern der TU Dresden, der TU Chemnitz und von neun außeruniversitären Forschungsinstituten, um in einem weltweit einzigartigen ganzheitlichen, interdisziplinären Ansatz innovative Technologien für die elektronische Informationsverarbeitung der Zukunft zu erforschen. Basierend auf neuartigen Materialien – z. B. Silizium-Nanodrähten, Kohlenstoff-Nanoröhrchen, organischen Materialien –, werden neue Bauelemente entworfen und daraus innovative Informationsverarbeitungssysteme konstruiert. Foto oben links Im Sommer 2012 wurde am Fraunhofer IZM-ASSID in Dresden Europas modernste Forschungsfabrik für 3D-Chips fertiggestellt und arbeitet seither an »Stapelchips« für noch leistungsfähigere Handys, Tablets und Autos. Gearbeitet wird auch auf sogenannten »Dünnwafern«, die sogar biegsam sind. Foto oben rechts In der Abteilung »Gedruckte Funktionalitäten« des Fraunhofer-Instituts ENAS in Chemnitz werden traditionelle und digitale Verfahren eingesetzt, um neuartige Druckprodukte wie z. B. gedruckte Antennensysteme oder Batterien herzustellen. Die Drucktechniken mit den Schwerpunkten Drop-on-Demand-Inkjet und Tiefdruck werden in Zusammenarbeit mit der TU Chemnitz und industriellen Partnern kontinuierlich weiterentwickelt. MEMS / Smart Systems Das Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) an der Technischen Universität Chemnitz verfügt über etwa 1.000 m2 Reinraumfläche und zählt zu den am besten ausgestatteten Universitätslaboren. Das ZfM forscht im Bereich der Metallisierungssysteme für höchstintegrierte Schaltkreise und auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik, stellt dabei Prototypen und Pilotserien her und entwickelt innovative Verfahren und Materialien. Im Fokus der Entwicklungen des Fraunhofer-Institutes für Elektronische Nanosysteme (ENAS) Chemnitz stehen Smart Systems unter Nutzung von Mikro- und Nanotechnologien. Die Leistungspalette des Instituts reicht von hochgenauen Sensoren für die Industrie, Sensorund Aktuatorsystemen mit Ansteuer- und Auswerteelektronik, über gedruckte Funktionalitäten wie Antennen oder Batterien bis hin zur Material- und Zuverlässigkeitsforschung für die Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Das Fraunhofer IZM – All Silicon System Integration Dresden (ASSID) entwickelt führende Wafer-Level-Packaging- und SystemintegrationsTechnologien für die 3D-Integration und setzt diese in Produkte um. Es verfügt über eine komplette 200-/300-mm-Prozesslinie für die 3D-Wafer-Level-Systemintegration auf der Basis der Kupfer-ThroughSilicon-Via (Cu-TSV)-Technologie. Der Service des Fraunhofer IZMASSID umfasst sowohl kundenspezifische Entwicklungen als auch das Prototyping, die Serienfertigung in geringen Stückzahlen und den technologischen Prozesstransfer. Organische und Gedruckte Elektronik Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) in Dresden zählt zu den führenden Entwicklungszentren in der Photonik und bei OLEDs. Von der ersten Idee über Machbarkeitsuntersuchungen bis zur Prototypentwicklung werden auf eigenen Prozesslinien kundenspezifische Produkte entwickelt und in Pilotserien gefertigt. Etwa 200 Wissenschaftler arbeiten auf den Gebieten Sensor- und Aktuatorsysteme, Mikroscanner, Flächenlichtmodulatoren, sowie organische Materialien 25 Prof. Dr. Karl Leo »In Sachsen forsche ich mit technologiebegeisterten und visionären Köpfen zusammen. Gemeinsam arbeiten wir daran, unsere international führende Position als ein Zentrum für organische Halbleiter weiter auszubauen.« (Leiter Institut für Angewandte Photophysik IAPP der Technischen Universität Dresden und Institutsleiter Fraunhofer-Einrichtung für Organik, Materialien und Elektronische Bauelemente COMEDD) 26 und Systeme. Die Arbeiten am Institut ermöglichen u. a. innovative Produkte im Alltag, wie z. B. ultrakompakte Bildprojektoren im Mobiltelefon. Das Institut für Angewandte Photophysik (IAPP) der Technischen Universität Dresden verfügt über große Expertise bei der Untersuchung physikalischer Eigenschaften organischer Materialien und deren Einsatz in Bauelementen wie OLEDs und Solarzellen. Besonderes Augenmerk liegt auf der Dotierung von hocheffizienten organischen Bauelementen unter Verwendung von molekularen Dotanden. Dadurch konnten an dem Institut mehrere Effizienz-Weltrekorde bei OLEDs und organischen Solarzellen erzielt werden. Die Fraunhofer-Einrichtung für Organik, Materialien und Elektronische Bauelemente Dresden (COMEDD) ist ein europaweit führendes Zentrum für Forschung und Pilotproduktion von Bauelementen und Fertigungstechnologien auf Basis organischer Halbleitermaterialien. Die Aktivitäten des Fraunhofer COMEDD umfassen den vollen Service vom Systementwurf über die Technologieentwicklung bis hin zur Pilot- produktion von Kleinserien einschließlich Substratstrukturierung, OLEDBeschichtung, Verkapselung und Systemintegration. Das Institut für Print- und Medientechnik der Technischen Universität Chemnitz (pmTUC) ist eine führende Forschungseinrichtung im Bereich der gedruckten Funktionalitäten und gedruckter Elektronik. Neben konventionellen Druckverfahren werden auch digitale Fertigungsverfahren (Drop-on-Demand-Piezo-Inkjet im Labor- und Industriemaßstab) zur Herstellung gedruckter Funktionsschichten verwendet. Weiterhin werden am pmTUC Verdruckbarkeitstests von Funktionstinten und -pasten sowie Bedruckbarkeitstests unterschiedlichster Materialien durchgeführt. Zu den Entwicklungen des pmTUC gehören auf Standardpapier gedruckte Lautsprecher und Solarzellen. Foto oben rechts Das Institut für Print- und Medientechnik der TU Chemnitz stellt Solarmodule her, die mit Druckfarben mit elektrischen Eigenschaften auf Standardpapiere gedruckt werden. Die Solarmodule werden mit Druckknöpfen elektrisch verbunden und bilden eine Serienschaltung. Die Vorderseite des Moduls besteht aus dem aktiven Schichtaufbau, auf der Rückseite ist das Papiersubstrat zu erkennen. Foto rechts GLOBALFOUNDRIES ist Mitglied im Silicon Saxony e. V. und forscht gemeinsam mit sächsischen Wissenschaftseinrichtungen unter anderem im Rahmen des BMBF-Spitzenclusters »Cool Silicon« an der Entwicklung energieeffizienter Technologien und Chips. 27 Mikro! Netzwerke Heinz Martin Esser »Ich mag Dresden, weil die Dynamik der hiesigen Halbleiterindustrie das gesamte Roth & Rau-Ortner-Team dazu inspiriert, kontinuierlichen Fortschritt und Innovationen zu erzielen. Ich mag Dresden auch deshalb, weil die Stadt und ihre Bürger das neue Dresden mit derselben Dynamik aufgebaut haben. Für mich als ›Zugereisten‹ ist es ein einmaliges Erlebnis, die prächtigen Resultate zu sehen, die über die Zeit hinweg entstanden sind.« (Vorstand, Silicon Saxony e. V.; Geschäftsführer, Roth & Rau-Ortner GmbH) 28 Silicon Saxony e. V. ist der größte Branchenverband der Halbleiter-, Elektronik- und Mikrosystemindustrie in Europa. Der Verein verbindet Unternehmen und industrielle Forschungsinstitute. In den über 300 Mitgliedsunternehmen, die einen Umsatz von mehr als 8 Mrd. Euro pro Jahr erzielen, sind derzeit rund 48.000 Mitarbeiter beschäftigt. Der Silicon Saxony e. V. bietet unter seinem Dach Mitglieder- und Spezialistenforen (Arbeitskreise), in denen Trends und Anforderungen der Mikroelektronikindustrie diskutiert werden. Gleichzeitig sind sie Motoren für die Entwicklung neuer Technologien und Verfahren, für die Anbahnung von Kooperationsprojekten und die Bildung von Bietergemeinschaften. Durch die enge Zusammenarbeit in den Arbeitskreisen haben sich einige spezialisierte Sub-Cluster, wie »RFID Saxony« oder »Software Saxony« gebildet. Der jüngste Arbeitskreis »450 mm« beschäftigt sich mit den Herausforderungen der 450-mm-Technologie im Halbleiterbereich – größere Wafer brauchen neue Materialien, neue Anlagen und innovative Automatisierungslösungen. Der Organic Electronics Saxony e. V. (OES) vertritt die Interessen von Europas führendem Cluster für organische Halbleiter und vereint die wichtigsten sächsischen Akteure aus Forschung und Industrie. OES fördert den internen Know-how-Transfer und bietet seinen Mitgliedern Unterstützung bei z. B. Marketing, Projektkoordination oder Finanzierung. Im Nanotechnologie-Kompetenzzentrum »Ultradünne funktionale Schichten« (Nano- CC-UFS) haben sich 51 Unternehmen, 10 Hochschulinstitute, 22 Forschungseinrichtungen und 5 Verbände zusammen geschlossen. Das Nano- CC-UFS wird vom Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden koordiniert. Impressum Bildnachweis Herausgeber Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH Seite 4 Infineon Technologies; Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden; GLOBALFOUNDRIES Seite 7 Infineon Technologies Seite 8 Infineon Technologies; SAW Components Dresden GmbH Seite 9 Zentrum Mikroelektronik Dresden AG; GLOBALFOUNDRIES Seite 10 Advanced Mask Technology Center GmbH & Co. KG (AMTC); GLOBALFOUNDRIES Seite 11 Siltronic AG; Freiberger Compound Materials GmbH (FCM) Seite 12 VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH; bubbles & beyond GmbH; VTD Vakuumtechnik Dresden GmbH Seite 13 Signalion GmbH; Saxray GmbH Seite 14 KOMSA KOMMUNIKATION SACHSEN AG; ADZ NAGANO GmbH; MICRO-EPSILON Optronic GmbH Seite 15 CWE – Chemnitzer Wirtschaftsförderungs- und Entwicklungsgesellschaft mbH; Novaled AG Seite 16 Heliatek GmbH / Fotograf: Tim Deussen, Berlin; Printechnologics GmbH; 3D-Micromac AG Seite 17 DAS Environmental Expert GmbH; Plastic Logic Seite 18 Kinetics Germany GmbH; XENON Automatisierungstechnik GmbH Seite 19 T-Systems Multimedia Solutions GmbH; Leesys GmbH; SYSTEMA Systementwicklung Dipl. Inf.. Manfred Austen GmbH Seite 20 TechniSat Digital GmbH; TU Wien (MEGWARE GmbH) Seite 21 Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS), Dresden Seite 22 Technische Universität Chemnitz / Jürgen Lösel; Technische Universität Dresden / Frank Johannes Seite 23 Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) / © M. Drescher; NaMLab / Technische Universität Dresden; Technische Universität Bergakademie Freiberg / Fotograf: Wolfgang Thieme Seite 24 Fraunhofer-Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM); Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (IKTS); Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) Seite 25 Fraunhofer IZM – All Silicon System Integration Dresden (ASSID); Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (ENAS) / Jürgen Lösel Seite 26 Institut für Angewandte Photophysik (IAPP), TU Dresden; Institut für Print- und Medientechnik der TU Chemnitz (pmTUC) / Bystrik Trnovec Seite 27 GLOBALFOUNDRIES Seite 28 Silicon Saxony e. V.; OES e. V.; Nano-CC-UFS Textredaktion in Zusammenarbeit mit Robert Weichert [email protected] Gestaltung VOR Werbeagentur GmbH www.vor-dresden.de Druck: Druckerei Thieme Meißen GmbH www.druckereithieme.de in Kooperation mit Silicon Saxony e. V. www.silicon-saxony.de Stand: September 2012 Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH Wir bieten • stets aktuelle Angaben zu Wirtschaftsdaten und Rahmenbedingungen • unternehmensbezogene Standortangebote • Vermittlung der Kontakte zu regionalen Entscheidern • Informationen zu Fördermöglichkeiten und -programmen • Zugang zu Branchennetzwerken in Sachsen • Hilfestellung bei der Erschließung neuer Märkte und • bei der Anbahnung von Kooperationen Was können wir für Sie tun? Wirtschaftsförderung Sachsen GmbH Bertolt-Brecht-Allee 22 01309 Dresden Tel.+49-351-2138 0 Fax +49-351-2138 399 [email protected] www.wfs.sachsen.de www.invest-in-saxony.de GIE·PHOTOMASKEN·MATERIAL·MEMS·NAN ANALYTIK·MOBILFUNK·SMART SYSTEMS NANOTECHNOLOGIE·EQUIPMENT·SCHAL HARDWARE·ANALYTIK·MOBILFUNK·SMART CHIPDESIGN·ORGANISCHE ELEKTRONIK, SOFTWARE·EQUIPMENT·SCHALTKREISE, MEMS·SCHALTKREISE·HARDWARE·ANALY