Kein Folientitel

Workshop
Neues aus der Mikrosystemtechnik in Thüringen
und Sachsen
am 11. Mai 2006 im Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. in
Jena
„Innovative Kombination von
Mikrosystemtechnik und RFID in
Transportüberwachungssystemen“
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
Foundry
Chemnitz
University
of Technology
MEMSFAB
FraunhoferInstitute
Reliability and
Microintegration
CHEMNITZ
Department of
Micro Devices and
Equipment
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
Customer
our partners in R&D
■ Fraunhofer Institute for Reliability and Microintegration
■ University of Technology Chemnitz / Centre for Microtechnologies
Department: Micro Devices and Equipment
Chemnitz
(Prof. Dr. T. Geßner, since 1998)
■ development of MEMS
■ advanced Technology Development
Fraunhofer Building with IZM labs
in Chemnitz (within FhG-IWU)
ƒ assembly of mechanical and electronic
Components
ƒ wafer and Chip Bonding of new Materials
ƒ 3D-Patterning Technologies
■ process and Equipment Simulation
ƒ CVD, PVD
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core competences in Microsystems Technology
■ MEMS Design
■ Silicon Micromachining
■ MEMS Packaging
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„Innovative Kombination von
Mikrosystemtechnik und RFID in
Transportüberwachungssystemen“
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Radio Frequency Identification (RFID)-Systems
Transponder 1
Transponder 2
Data
Reader
Energy
Cloc
k
Transponder 3
Transmit + Respond = Transponder
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Anwendung von RFID-Systemen: Beförderung von Fluggepäck
• „Low cost“-Wegwerf-Elektronik
• vollautomatischer Gepäcktransport
• sehr geringe bzw. keine Fehlerrate
• keine direkte Sicht auf das Label erforderlich
• lesbar unabhängig von der Position das Labels
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Schock- und Kippsensoren
Kippsensor und 2
Schocksensoren an
einer Transportkiste;
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Schock- und Kippsensoren
Kippsensor für 40 °
links und rechts
Preis ca. 3 Euro pro Stück
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Schock- und Kippsensoren
Kippsensor für 20, 30, 40, 50,
60, 70 und 80 ° Verkippung
links und rechts;
Preis ca. 3 Euro pro Stück
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Schock- und Kippsensoren
Schocksensor
Preis ca. 3 Euro
pro Stück
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ShockDisplay MONI LOG ® SDY
1.
2.
3.
4.
Transportdatenlogger
ShockDisplay
Mit Software bis WIN 2000
Mit RS-232 Kabel, Montageplatte
NiCd-Akku für 330 Betriebsstunden
Messbereich bis 10 g
Datenlogger mit Anzeige zur Registrierung der 99
größten Stöße
speichert und zeigt die 99 größten Stöße in allen
drei Raumrichtungen nach Amplitude / Zeitdauer /
Richtung mit Datum und Uhrzeiten
Stoßschwelle vom Nutzer über Tastatur einstellbar;
löschbarer Speicher; Paßwortschutz,
Tabellenausgabe in Verbindung mit externem
Rechner
routinemäßige Transportüberwachung
verschiedener Produktgruppen, übersichtsmäßige
Verpackungsprüfung
Bewertung der Stoßparameter im Gerät,
einfache Vor-Ort-Anwendung ohne externen
Rechner
1
2.100,00 €
2.100,00 €
10
1.950,00 €
19.500,00 €
50
1.650,00 €
82.500,00 €
100
1.300,00 €
130.000,00 €
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ShockDisplay MONI LOG ®
Internetbox
Transportdatenlogger
ShockDisplay
Mit Internetbox
Mit Software bis WIN 2000
Mit RS-232 Kabel, Montageplatte
Externe Batterien für 4000 BetriebsStunden
Messbereich bis 10 g
GSM-Kommunikationsgerät Funktion: GSM-Tribandmodem mit
automatischer Frequenzumschaltung und automatischer
Netzsuche und separater Stromversorgung Anwendung:
weltweiter Einsatz zur Datenübertragung von schwer
zugänglichen Messgeräten oder von Datenloggern per EMail, SMS oder Fax in voreingestellten Zeitintervallen,
funktioniert mit hoher Wahrscheinlichkeit auch innerhalb
von Containern
Übermittelt werden nicht nur die Messwerte, sondern
auch Informationen über den Standort zum Zeitpunkt der
Datenübermittlung.
An jedes beliebige Messgerät anschließbar Vorteile:
durch eine stromsparende Konstruktion ist es gelungen,
ein sehr kompaktes Gerät zu erhalten und den Betrieb
auch bei sehr langen, über Monate dauernden
Transporten sicherzustellen
1
2.690,00 €
2.690,00 €
10
2.510,00 €
25.100,00 €
50
2.190,00 €
109.500,00 €
100
1.820,00 €
182.000,00 €
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
VTI:“Global market leader in high accuracy low-g accelerometers”
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
VTI:“Global market leader in high accuracy low-g accelerometers”
SCA100T Series - The most accurate 2-axis MEMS inclinometer
in the world
•2-axis inclination measurement (X and Y)
•Measuring ranges ±30° (±0,5g) and ± 90° (±1g).
•Internal temperature measurement and compensation
•Digital SPI acceleration/inclination and temperature output
•For customised products please contact VTI Technologies
•SCA100T Data sheet (eng) (PDF 208 kb) (de) (PDF 320 kb)
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AIM* Process Flow (simplified) and Anchor Structure
* AIM = Airgap Isolation of Microstructures: DE 10029012C2; U.S.No.10/296,771; PCT/DE01/02237
1. Isolator
2. Metal
3. Silicon
Component
SiO2
Al
Si
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AIM7E– SEM of Seismic Mass and Counter Part
seismic mass
electrodes …
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AIM7E Dual Axis low g Sensor
before capping …
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
with cap wafer …
Anwendung von RFID-Systemen: Beförderung von Fluggepäck
• „Low cost“-Wegwerf-Elektronik
• vollautomatischer Gepäcktransport
• sehr geringe bzw. keine Fehlerrate
• keine direkte Sicht auf das Label erforderlich
• lesbar unabhängig von der Position das Labels
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
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memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
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AIM Dual Axis low g Sensor
sensor with glass cover plate (glass frit bonding)
AIM7E sensor with M777.04 ASIC (ELMOS)
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
AIM low g Sensor System Prototypes Fabricated
AIM7 sensor with
IMD 9801 ASIC
CLCC44
AIM7E sensor with M777.04 ASIC (ELMOS)
PLCC44
AIM5 sensor with AD7746 (24 Bit)
> evaluation by HL Planar
AIM5I sensor with CVC
ASIC (GEMAC)
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de
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memsfab GmbH
Annaberger Str. 240
09125 Chemnitz
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web:
http://www.memsfab.de
managing director: Dr. Torsten Thieme
email: [email protected]
memsfab GmbH – Annaberger Str. 240 – 09126 Chemnitz – www.memsfab.de