docHow to produce a silicon wafer
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How to produce a silicon wafer
cyan magenta yellow black WIE EINE SILICIUM SCHEIBE ENTSTEHT HOW TO PRODUCE A SILICON WAFER TIEGELZIEHEN CZOCHRALSKI PULLING WIRBELSCHICHTREAKTOR FLUIDIZED BED REACTOR Trichlorsilan Trichlorosilane H2 SiHCl3 Metallurgisches Silicium Metallurgical Silicon ABSCHEIDUNG VON POLYKRISTALLINEM REINSTSILICIUM CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF POLYCRYSTALLINE SILICON Reaktor Bell Jar HCl Gasförmiger Chlorwasserstoff Hydrogen Chloride Düsenboden Nozzle Ground SiHCl3/H2 Trichlorsilan und Wasserstoff Trichlorosilane and Hydrogen Impfkristall Seed Crystal RUNDSCHLEIFEN INGOT GRINDING Quarztiegel Quartz Crucible Polykristallines Silicium Polycrystalline Silicon Si Siliciumschmelze Silicon Melt Widerstandsheizer Resistivity Heater Topfschleifscheibe Grinding Wheel ZONENZIEHEN FLOAT ZONE PULLING Stabstück Ingot Section Polykristallines Silicium Polycrystalline Silicon Induktionsspule Induction Coil Einkristall Monocrystal INNENLOCHSÄGEN INNER DIAMETER SLICING Innenloch Sägeblatt Inner Diameter Sawing Blade Stabstück Ingot Section Diamantbelag Diamond Layer KANTENVERRUNDEN EDGE ROUNDING LÄPPEN LAPPING Siliciumscheibe Silicon Wafer Profilschleifscheibe Edge Rounding Wheel Unverrundete Siliciumscheibe As Sawn Wafer DRAHTSÄGETECHNIK MULTI WIRE SLICING Aufgekittetes Stabstück Mounted Ingot Schleifchuck Grinding Chuck Obere und untere Läppscheibe Upper and Lower Lapping Plate Läuferscheibe Lapping Carrier Slurrydüse Slurry Nozzle Sägegatter Wire Web Drahtführungsrollen Wire Guide Rollers OXID-BESCHICHTUNG OXIDE DEPOSITION Duschkopf Shower Head REINIGEN UND ÄTZEN CLEANING AND ETCHING Reinigungsbecken Cleaning Bath Ätzbecken Etch Bath POLIEREN POLISHING SiH4/N2O Heizblock Heater Block EPITAXIE EPITAXY Lampenheizung Lamp Heating Poliertuch Polishing Pad Siliciumscheibe Silicon Wafer POLY-BESCHICHTUNG POLY DEPOSITION Trocknung Dryer Prozessgasströmung Process Gas Flow Siliciumscheibe Silicon Wafer Quarzglocke Quartz Tube Polierteller Polishing Platen Siliciumscheibe Silicon Wafer Trägerplatte Ceramic Plate Suszeptor Susceptor SiH4 Quarzboot Quartz Boat © 2004 Siltronic www.siltronic.com
