Ölfreie Scroll-Vakuumpumpen SC 5 D SC15 D - Kon

08750_Prp_Scroll_d_0610
06.12.2006
11:35 Uhr
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Ölfreie
Scroll-Vakuumpumpen
SC 5 D
SC 15 D
SC 30 D
BICOM 08780.01-171.70.01
0.5.12.06 GK
Printed in Germany on chlorine-free bleached paper
Technical alterations reserved
Technische Information 171.70.01
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06.12.2006
11:35 Uhr
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Scrollpumpen
SC 5 D, SC 15 D, SC 30 D
Scroll Vakuumpumpen
Vorteile
Die trockenverdichtenden SC-D Scrollpumpen zeichnen sich durch folgende
Eigenschaften aus:
■
Absolut ölfrei
■
Niedriges Endvakuum
■
Hohes effektives Saugvermögen
■
Niedriger Enddruck
■
Geringer Geräuschpegel
■
Schwingungsarmer Betrieb
■
Maximaler Einlassdruck
■
Geringes Gewicht
■
Luftkühlung
■
Geringe Leistungsaufnahme
02 Ölfreie Scroll-Vakuumpumpen
Anwendungen
Ölfreie Scroll-Vakuumpumpen eignen
sich für den Einsatz in Applikationen
überall dort, wo ein trockenes und sauberes Vakuum benötigt wird:
■
Elektronenstrahlschweißen
■
Laser
■
Lecksuchsysteme
■
Beschleuniger / Synchrontrone
■
Oberflächenanalysengeräte
■
Rasterelektronenmikroskope
■
Load-Lock / Schleusenkammern
■
Spektroskopie
■
Lampenfertigung
■
Als Vorpumpe für Turbo-Molekularpumpen
1000
Hz
SC 30 D 60
50 Hz
Saugvermögen (l/min)
Das Funktionsprinzip der Scroll-Verdichter wurde 1905 vom Franzosen
Leon Creux entwickelt. Erst seit
wenigen Jahren kommt die Scrollpumpe auch als ölfreie Vakuumpumpe
zum Einsatz. Jede Scrollpumpe
besteht aus zwei oder mehreren archimedischen Spiralen, die um 180° versetzt ineinander gesetzt werden.
Hierdurch entstehen mehrere halbmondförmige Taschen in unterschiedlicher Größe. In einer feststehenden
Spirale wird eine zweite Spirale über
ein Exzenter orbitierend bewegt, hierdurch verringert sich das Volumen der
Taschen und die Gase werden von
außen nach innen verdichtet und damit
gefördert. Wichtig für die Qualität der
Scrollpumpe ist die Einhaltung exakter
Fertigungstoleranzen und eine geeignete Materialwahl.
Hz
SC 15 D 60
50 Hz
100
60 Hz
SC 5 D 50 Hz
10
1
-1
10
10
-3
10
0
10
1
10
2
10
3
10
4
-2
10
-1
10
0
10
1
10
2
10
10
-3
-2
10
10
-1
10
0
Einlassdruck
Saugvermögen der Scroll Vakuumpumpen SC - D
10
1
10
Pa
10
mbar 10
2
Torr
5
3
10
3
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Abmessungen, Wartungsintervalle
Maßzeichnung der SC 5 D (alle Maße in mm)
Maßzeichnung der SC 15 D (alle Maße in mm)
Maßzeichnung der SC 30 D (alle Maße in mm)
Wartungsintervalle
Zur Erhaltung der Leistungsfähigkeit ist
nach jeweils einer bestimmten Anzahl
Betriebsstunden eine Standard-
wartung vorzunehmen (abhängig von
der Art der Anwendung, üblicherweise
jedoch nach 8000 Betriebsstunden).
Dazu bieten wir Ihnen komplette
Wartungspakete inklusive Dichtungen,
O-Ringen und Lagern an.
Ölfreie Scroll-Vakuumpumpen 03
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Technische Daten
Bestellinformation
Ölfreie Scroll-Vakuumpumpe
Nennsaugvermögen*
Saugvermögen*
Erreichbarer Enddruck
Leckrate
Max. Einlassdruck
Zul. Umgebungstemperatur
Anschlüsse
Kühlung
Wasserdampfverträglichkeit
mit Spülgasvolumen
Schutzklasse
Motorleistung
Motorumdrehungen**
50 Hz / 60 Hz
50 Hz / 60 Hz
m3/h
m3/h
mbar
mbar l/s
Einlass / Auslass
°C
NW
min.
min.
g/h
l/min
230 V, 50 Hz
230 V, 60 Hz
Geräuschpegel in 1 m Freifeldmessung**
Abmessungen (B x H x T)
Ausführung mit 1-Phasen-Motor
Ausführung mit Drehstrom-Motor
Gewicht
Ausführung mit 1-Phasen-Motor
Ausführung mit Drehstrom-Motor
W
min-1
min-1
dB(A)
mm
mm
kg
kg
SC 5 D
SC 15 D
SC 30 D
5,4 / 6,5
5,0 / 6,0
≤ 0,05
10-6
Atmosphäre
5 - 40
25 / 16
30 / 36
26,3 / 31,5
≤ 0,01
10-6
Atmosphäre
5 - 40
40 / 25
0,2
9
IP 20
150
1440
1740
≤ 52
15 / 18
13,8 / 16,6
≤ 0,016
10-6
Atmosphäre
5 - 40
25 / 16
Luft
1,04
10
IP 20
400
1450
1730
≤ 58
214 x 225 x 308
–
252 x 336 x 400
252 x 336 x 370
328 x 372 x 443
328 x 372 x 372
14
–
25
23
44
38
SC 5 D
SC 15 D
SC 30 D
133 000
133 100
133 001
133 101
133 002
133 102
—
133 003
133 004
EK870000496
EK870000499
EK870000502
EK870000497
EK870000500
EK870000503
EK870000498
EK870000501
EK870000503
1,04
10
IP 20
600
1450
1730
≤ 62
* nach DIN 28 400 ff
1-Phasen-Motor, mit Kabel und Stecker
230V, 200V, 100V, 50 Hz
Europa
115V, 100V, 200V, 230V, 60 Hz
US / Japan
3-Phasen-Motor, ohne Kabel
200V, 380V, 415V, 50 Hz / 200V, 208V, 230V, 60 Hz
Wartungssätze:
Kleiner Wartungssatz*
(nach 8.000 h) Minor Kit
Großer Wartungssatz **
(nach 16.000 h) Major Kit
Werkzeugsatz SC 5/15/30 D
* enthält Wellendichtung und O-Ringe
** enthält neben dem kleinen Wartungssatz zusätzlich Tip Seal und Lager
Zentrale Deutschland
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
Bonner Straße 498
D-50968 Köln
T +49 (0) 221-347-0
F +49 (0) 221-347-1250
[email protected]
www.oerlikon.com
BICOM 08780.01-171.70.01
0.5.12.06 GK
Printed in Germany on chlorine-free bleached paper
Bestellinformation
Technical alterations reserved
** Angaben für Ausführung mit 1-Phasen-Motor