Trockenverdichtende Vakuumpumpen

Transcription

Trockenverdichtende
Vakuumpumpen
Scroll-Vakuumpumpen SCROLLVAC SC - D
Kolben-Vakuumpumpen ECODRY M
171.04.01
Auszug aus dem Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog
Produkt-Kapitel C03
Ausgabe 2009
Inhalt
Allgemeines
Applikation und Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.03
Produkte
Ölfreie Scroll-Vakuumpumpen
SCROLLVAC SC 5 D bis SC 60 D . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.04
Trockenverdichtende Kolben-Vakuumpumpen
ECODRY M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.08
Zubehör ECODRY M
Schallschutz-Haube (Nachrüst-Satz) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.16
Auspuff-Schalldämpfer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.17
Schwingfüße . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.17
Schwingungs-Absorber-Satz . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.18
Gasballast-Ventil, elektromagnetisch . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . C03.19
C03 02
Oerlikon Leybold Vacuum Gesamtkatalog 2009
Allgemeines
D
D
Elektronenstrahl-Schmelzen
I
I
I
I
Laser
I
I
I
I
Lecksuchsysteme
I
Beschleuniger / Synchrontron
I
Öberflächen-Analysegeräte
I
Rasterelektronen-Mikroskope
I
SC
SC
SC
60
30
D
SC
5
15
D
Pu
m
pe
Applikation und Zubehör
Applikation
Load-Lock
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
Lampenfertigung
I
I
I
I
Als Vorpumpe für Turbo-Molekularpumpsysteme
I
I
I
I
EC
O
DR
Y
Pu
m
pe
M
15
/2
0/
30
Spektroskopie
Applikation
Physikalische Anwendungen
I
Loadlock-Anwendungen
I
Schleusenkammern
I
Massen-Spektrometer
I
Elektronenmikroskope
I
Lampenherstellung
I
Beschichtungs-Technik
I
Gefriertrocknung
I
Vorvakuum-Erzeugung in trockenen Hochvakuumsystemen
I
Zubehör
Seite
Schallschutz-Haube
C03.16
I
Auspuff-Schalldämpfer
C03.17
I
Schwingfüße
C03.17
I
Schwingungs-Absorber-Satz
C03.18
I
Gasballast-Ventil, elektromagnetisch
C03.19
I
03 C03
Produkte
Ölfreie Scroll-Vakuumpumpen
SCROLLVAC SC 5 D bis SC 60 D
Das Funktionsprinzip der ScrollVerdichter wurde 1905 vom Franzosen
Leon Creux entwickelt. Heute kommt
die Scrollpumpe als ölfreie Vakuumpumpe zum Einsatz. Jede Scrollpumpe
besteht aus zwei archimedischen Spiralen, die um 180° versetzt ineinander
gesetzt werden. Hierdurch entstehen
mehrere halbmondförmige Taschen in
unterschiedlicher Größe. Mit Hilfe eines
Exzenterantriebs wird eine zweite Spirale orbitierend um die feststehende
Spirale bewegt, hierdurch verringert
sich das Volumen der Taschen, und die
Gase werden von außen nach innen
verdichtet und damit gefördert.
Wichtig für die Qualität der Scrollpumpe ist die Einhaltung exakter Fertigungstoleranzen und eine geeignete
Materialwahl.
Scroll Vakuumpumpen SCROLLVAC, von links nach rechts: SC 60 D, SC 30 D, SC 15 D, SC 5 D
Vorteile für den Anwender
Typische Anwendungen
- Absolut ölfrei
- Elektronenstrahl-Schmelzen
- Hohes effektives Saugvermögen
- Laser
- Niedriger Enddruck
- Lecksuchsysteme
- Geringer Geräuschpegel
- Beschleuniger / Synchrontron
- Schwingungsarmer Betrieb
- Oberflächenanalysengeräte
- Einlaßdrücke bis zum Atmosphärendruck sind zulässig
- Rasterelektronen-Mikroskope
Wartungsintervalle
- Load-Lock
- Lampenherstellung
Zur Erhaltung der Leistungsfähigkeit
empfehlen wir nach jeweils einer
bestimmten Anzahl Betriebsstunden
eine Standardwartung vorzunehmen.
- Als Vorpumpe für Turbo-Molekularpumpsysteme
Dazu bieten wir folgende komplette
Wartungspakete:
- Geringes Gewicht
- Spektroskopie
- Luftkühlung
- Geringe Leistungsaufnahme
- Integrierter Betriebsstundenzähler
10 000
- Kleines Wartungspaket (Minor Kit)
nach 8.000 h oder spätestens
12 Monaten Laufzeit,
1000
- Großes Wartungspaket (Major Kit)
nach 16.000 h oder spätestens
24 Monaten Laufzeit.
SC 60 D
SC 30 D
Saugvermögen
l/min
SC 15 D
100
Garantie
SC 5 D
Bei Abschluss eines Wartungsvertrages gewähren wir 2 Jahre Garantie
auf fehlerhaftes Material bei Einhaltung
der vorgeschriebenen Wartungsintervalle.
10
1
-3
10
60 Hz
50 Hz
-2
10
10
-1
10
0
Einlassdruck
10
1
10
2
mbar 10
3
Ausgenommen sind Verschleißteile
sowie prozessbedingter Verschleiß.
Saugvermögenskurven der Scroll Vakuumpumpen SCROLLVAC SC - D
C03 04
3-phasig
1-phasig
Maßzeichnung zu den Scroll Vakuumpumpen SCROLLVAC SC 5 D (oben) und SC 15 D (unten)
05 C03
3-phasig
467
1-phasig
390
133
218
421
285
163
42
55
350
320
168
Maßzeichnung zu den Scroll Vakuumpumpen SCROLLVAC SC 30 D (oben) und SC 60 D (unten)
C03 06
Technische Daten
Nennsaugvermögen
50 Hz
60 Hz
SCROLLVAC
SC 5 D
SC 15 D
SC 30 D
SC 60 D
m3/h
m3/h
5,4
6,4
15,0
18,0
30,0
36,0
60,0
72,0
m3/h
m3/h
4,8
6,0
13,0
15,5
26,0
31,0
52,0
62,0
mbar
ⱕ 0,05
ⱕ 0,016
ⱕ 0,01
ⱕ 0,01
mbar l/s
1 · 10-6
1 · 10-6
1 · 10-6
1 · 10-6
1)
Saugvermögen 1)
50 Hz
60 Hz
Erreichbarer Enddruck
Leckrate
Atmosphäre
Atmosphäre
Atmosphäre
Atmosphäre
°C
+5 bis +40
+5 bis +40
+5 bis +40
+5 bis +40
NW
NW
25
16
25
16
40
25
40
40
Max. Einlassdruck
Zul. Umgebungstemperatur
Anschlüsse
Einlass
Auslass
Luft
Luft
Luft
Luft
g/h
l/min
0,2
9
1,04
10
1,04
10
1,04
10
Schutzklasse
IP
20
20
20
20
Motorleistung
W
150
400
600
1400
min-1
min-1
1440
1740
1450
1730
1450
1730
1460
1760
Kühlung
Wasserdampfkapazität
mit Purge, max.
Motorumdrehungen
50 Hz
60 Hz
Motorspannung
1 Phasen 2)
100 V / 50 Hz
100 V / 50 Hz
100 - 115 V / 60 Hz 100 - 115 V / 60 Hz
200 - 230 V /
50/60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
200 V, 380 - 415 V /
3 Phasen
60 Hz
Geräuschpegel in 1 m Freifeldmessung
dB(A)
Abmessungen (B x H x T) 2)
Gewicht
1 Phasen-Motor
3 Phasen-Motor
mm
kg
kg
ⱕ 52
ⱕ 58
ⱕ 62
ⱕ 67
400 x 252 x 336
443 x 328 x 372
467 x 390 x 421
14
–
25
23
44
38
60
Minor Kit
Major Kit
Werkzeugsatz
Scroll-Profildichtung (Tip Seal)
Einbausatz Welle (Pin Crank Kit)
2)
–
SCROLLVAC
Ölfreie Scroll-Vakuumpumpe
1 Phasen-Motor, mit Kabel und Stecker
Europa (Schuko-Stecker, 230 V)
US / Japan (NEMA-Stecker, 115 V)
3 Phasen-Motor, ohne Kabel
1)
200 V / 59/60 Hz
308 x 214 x 225
Bestelldaten
Wartungssätze
Kleiner Wartungssatz
(nach 8.000 h)
Großer Wartungssatz
(nach 16.000 h)
100 V / 50 Hz
100 - 115 V / 60 Hz
50/60 Hz
50/60 Hz
200 V, 380 - 415 V /
60 Hz
SC 5 D
SC 15 D
SC 30 D
SC 60 D
Kat.-Nr. 133 000
Kat.-Nr. 133 100
–
Kat.-Nr. 133 001
Kat.-Nr. 133 101
Kat.-Nr. 133 003
Kat.-Nr. 133 002
Kat.-Nr. 133 102
Kat.-Nr. 133 004
–
–
Kat.-Nr. 133 008
Kat.-Nr.
EK 870000496
Kat.-Nr.
EK 870000499
Kat.-Nr.
EK 870000497
Kat.-Nr.
EK 870000500
Kat.-Nr.
EK 870000498
Kat.-Nr.
EK 870000501
Kat.-Nr.
EK 870000519
Kat.-Nr.
EK 870000520
Kat.-Nr.
EK 870000502
Kat.-Nr.
EK 870000503
Kat.-Nr.
EK 870000503
Kat.-Nr.
EK 870000521
Kat.-Nr.
E 870000510
Kat.-Nr.
E 870000511
Kat.-Nr.
E 870000512
Kat.-Nr.
E 870000522
Kat.-Nr.
EK 870000507
Kat.-Nr.
EK 870000508
Kat.-Nr.
EK 870000509
Kat.-Nr.
EK 870000523
Nach DIN 28 400
Über die Kat.-Nr. für die 1 Phasen-Pumpen wird die zu liefernde Motorspannung definiert
07 C03
Trockenverdichtende Kolben-Vakuumpumpen
ECODRY M
Die ECODRY M enthält einen trockenen Gleitmechanismus und damit
weder Öl oder Kohlenwasserstoff.
Durch Weiterentwicklung und Optimierung der Verdichtungs-Vorgänge
erreicht die ECODRY M 15/30 mit drei
Verdichtungs-Stufen einen Enddruck
(total) im niedrigen 10-2 mbar Bereich.
ECODRY M vertikal (Auslieferzustand)
Durch die Möglichkeit, die ECODRY
M 15/20/30 in vertikaler (Auslieferzustand) oder horizontaler Aufstellung zu
betreiben, ergibt sich eine hohe Flexibilität um Einbau-Verhältnisse in der
Kunden-Anwendung zu berücksichtigen.
ECODRY M horizontal
Gasballast
V1, V2, V3
Auspuff
Einlass
1
Die ECODRY M 15/20/30 verfügt über
bewährte Einlass-Schlitze und zudem
auch über druckgesteuerte EinlassVentile. Diese Einlass-Ventile vermindern die notwendige Motorleistung
während der Saugphase der einzelnen
Verdichtungs-Stufen.
Daraus resultiert ein niedriger Leistungsbedarf der Pumpe, was zu einem kostengünstigen Betrieb für den
Anwender führt.
Die ECODRY M 15/20/30 benötigt
keine externen Kühlmedien, wie z.B.
Kühlwasser.
2
4
4
4
3
3
3
2. Stufe
Evakuieranschluss für
den Getrieberaum
Kurbelwellen-Gehäuse
1 Bypassventil
2 Auspuffventil
Integriertes
Rückschlag ventil
3. Stufe
1. Stufe
3 Einlassventil
4 Entlastungsventil
Gasflussdiagramm für die ECODRY M 15 (drei Kompressionsstufen)
Einlass
Auspuff
1
Gasballast
V1, V2, V3
2
4
4
4
3
4
3
3
3
1. Stufe
2. Stufe
Kurbelwellen-Gehäuse
1 Bypassventil
Evakuieranschluß für
den Getrieberaum
3 Einlassventil
2 Auspuffventil
Die ECODRY M 15/20/30 wird in verschiedenen Motor-Versionen angeboten, die einen Betrieb der Pumpe bei
nahezu jeder elektrischen Spannung
und Netzfrequenz dieser Welt möglich
machen (siehe Technische Daten).
Neu ist der universelle FC-Motor 1),
welcher an allen 1 Phasen-Netzen
weltweit betrieben werden kann
(90 - 264 V, 50/60 Hz).
Integriertes
Rückschlagventil
3. Stufe
1. Stufe
4 Entlastungsventil
Gasflussdiagramm für die ECODRY M 30
2
3,0
A
2,5
kW
1,8
1,6
Strom
1,2
1
1,5
0,8
Strom 50 Hz (M 15)
Strom 60 Hz (M 15)
Leistungsaufnahme 50Hz 400V (M 30)
1,0
Leistung
1,4
2,0
1)
FC-Motor = Frequenzgeregelter Motor
0,6
0,4
0,5
0,2
0,0
1
10
100
mbar
0
1000
Einlassdruck
Strom-/Leistungsaufnahme gegen Einlassdruck für die ECODRY M 15 bis 30 mit
Drehstrommotor 400 V, 50/60 Hz
C03 08
ECODRY M - Modulare Reihe von
trockenen Kolben-Vakuumpumpen
Die ECODRY M enthält einen trockenen Gleitmechanismus und damit enthält die Pumpe weder Öl oder kohlenwasserstoffhaltige Schmiermittel.
Die niedrige zulässige Drehzahl
(750 U/min; FC-Motor 1)) und die Verwendung bewährter Bauteile ermöglichen Wartungs-Intervalle von bis zu
2 Jahren (applikationsabhängig).
Die modulare Konstruktionsweise der
ECODRY M erlaubt es uns, Ihnen die
nachstehend aufgeführten Saugvermögen anzubieten:
Seff
m3/h
M 15
M 20
M 30
ECODRY M-Reihe
Typische Anwendungen
- Geringer Wartungsaufwand, ölfrei
und kohlenwasserstofffreie
Lagerschmierung
- Physikalische Anwendungen
- Äußerst niedrige Partikelemission
saug- und druckseitig
Diese Pumpentypen unterscheiden
sich im wesentlichen durch die Verschaltung der 3. Pump-Stufe.
- Loadlock-Anwendungen
- Schleusenkammern
- Massen-Spektrometer
- Robust und zuverlässig
- Elektronenmikroskope
- Niedriger Energieverbrauch
- Lampenherstellung
- Servicefreundlich
- Beschichtungs-Technik
- Luftkühlung
- Gefriertrocknung
- Einfache Installation
- Vorvakuum-Erzeugung in trockenen
Hochvakuumsystemen
- Gute Verträglichkeit gegenüber
Wasserdampf (Gasballast standard)
- Keine geschmierten Lager im
Schöpfraum
- Hohe Dichtigkeit
- Kompakte Abmessungen
- Läuft mit niedrigen 1000/1200
U/min (bei 50/60 Hz)
- Sauerstoffförderung > 21 Vol % auf
Anfrage
30
25
m3/h
Saugvermögen
- Gutes Saugvermögen bei niedrigem
Enddruck
20
- Betrieb horizontal und vertikal möglich
Bei der ECODRY M 15 sind die
3 Kompressions-Stufen in Reihe geschaltet.
Bei der ECODRY M 20 sind die 1. und
2. Stufe parallel und die 3. Stufe in
Reihe wirksam. Bei der M 30 sind die
Stufen wie bei der M 15 in 3 Kompressionsstufen wirksam, hierbei wirken 2 der 4 Stufen als eine Kompressionsstufe (1. Stufe).
Daraus ergibt sich bei der ECODRY
M 20 ein Saugvermögen von ca.
20 m3/h und einem Enddruck (total) im
mittleren 10-1 mbar-Bereich.
Die ECODRY M ist als fertiges System
mit Schallschutz-Haube (inklusive
Rollen) montiert lieferbar.
Hierdurch wird der Schallpegel auf
bedeutend niedrigere Werte reduziert
(siehe Technische Daten).
15
Von der Gewährleistung ausgeschlossen sind die Kolben-Dichtungen und
die Kolben-Beschichtungen.
10
5
0
10-2
10-1
100
101
102
mbar
103
Einlassdruck
- Großflächige, robuste AuslassVentile (full cross section valves)
15
20
30
1)
FC-Motor = Frequenzgeregelter Motor
M 15 - 60 Hz
M 20 - 60 Hz
M 30 - 60 Hz
Saugvermögen im Verhältnis zum Einlassdruck bei
ECODRY M 15 bis M 30
09 C03
vertikale Aufstellung
l1
l2
l3
b
h7
h6
h2
h1
h3 h4
h
h5
a
d
b4
l6
l5
h8
Durchgangsloch 6,5 für M6
l4
l
l7
l8
b3 b2
horizontale Aufstellung
a
b
b1
b2
b3
b4
Xd
h
h1
h2
h3
h4
h5
FC-Motor
FC-Motor
3 Phasen-Motor
3 Phasen-Motor
76,0
76,0
76,0
76,0
180,0
180,0
180,0
180,0
146,0
146,0
146,0
146,0
138,0
140,5
138,0
140,5
121,0
121,0
121,0
121,0
216,0
216,0
216,0
216,0
6,5
6,5
6,5
6,5
352,5
369,0
352,5
369,0
228,0
242,5
228,0
242,5
230,0
230,0
148,0
148,0
335,0
349,5
335,0
344,5
316,0
330,5
316,0
330,5
186,0
186,0
186,0
186,0
h6
h7
h8
l
l1
l2
l3
l4
l5
l6
l7
l8
FC-Motor
FC-Motor
3 Phasen-Motor
3 Phasen-Motor
93,0
107,5
93,0
107,5
37,5
36,0
37,5
36,0
373,5
390,0
373,5
390,0
598,0
713,0
594,0
709,0
89,0
89,0
89,0
89,0
191,0
304,0
191,0
304,0
300,5
300,5
269,5
269,5
495,0
495,0
495,0
495,0
289,0
399,5
289,0
399,5
105,5
111,5
105,5
111,5
289,0
399,5
289,0
399,5
101,0
213,0
101,0
213,0
Typ
M
M
M
M
15/20
30
15/20
30
Typ
M
M
M
M
15/20
30
15/20
30
Maßzeichnung der ECODRY M 15/20 und M 30 mit Weltmotor; 3 Phasen-Motor ohne Zeichnung
(Maße beziehen sich auf Ausführung mit Standardfüßen)
C03 10
Intelligente Antriebstechnologie
für maßgeschneidertes Vakuum
Zur Erhöhung der Leistungsfähigkeit
der ECODRY M Kolben-Vakuumpumpen lassen sich diese Pumpen mit
einem motor-integrierten Frequenzwandler ausstatten.
Oerlikon Leybold Vacuum bietet jetzt
diese universelle Spannungs/Frequenzwandler-Ausstattung für die komplette
ECODRY M-Reihe (ECODRY M 15,
M 20 und M 30) an.
ECODRY M mit FC-Motor
- Universell einsetzbar - in allen
1 Phasen Wechselstrom-Netzen
weltweit (50 und 60 Hz)
- Kostengünstig in Anschaffung und
Betrieb
- Erhöhung der Saugvermögensleistung gegenüber StandardWechselstromversionen bei 50 Hz
bis zu 18%
- Menuegesteuerte 2-Knopf-Bedienung zur Anwahl der gewünschten
Drehzahlbereiche 750, 1000 und
1200 U/min-1
3
- LCD-Display zur Darstellung der
Betriebszustände wie z.B. Drehzahl, Betriebsstunden, Ampere
- „Sparbetrieb“ (Lastenoptimierter
Betrieb) gezielt einstellbar zur Reduzierung von Leistungsaufnahme,
Vibrations- und Geräusch-Verhalten
- Schonender, verschleissarmer Betrieb durch gezielte Drehzahlkontrolle
5
6
1
- CE- und NRTL konform
11
10
9
8
7
1
Technische Daten
- Eingangsspannung 90 - 264 V
(13 A - 7 A) bei 50/60 Hz
- Motordrehzahl manuell in drei
Stufen einstellbar auf 750, 1000
und 1200 U/min-1
- RS 485 C und Analog-Schnittstelle
(0 - 10 V)
- Stufenlose Drehzahlregelung von
750 bis 1200 U/min-1 über AnalogSchnittstelle
Betriebsbereitschaft / Steuerung über
serielles Protokoll
2 Beschleunigung
3 4 x 7 - Segmentanzeige
4 Soll-Drehzahl
5 Ist-Drehzahl
6 Volt, Ampere, Stunden
7 Overspeed
8 Frequenzwahl
9 Betriebsstunden
10 Störung
11 Normalbetrieb
LCD Display der Bedienungseinheit
2000
EcoDry M 30 @ 1200/1000/750 min -1
1500
EcoDry M 20 @ 1200/1000/750 min -1
EcoDry M 15 @ 1200/1000/750 min -1
Strom / W
- Prozess- und Applikations-Kontrolle
möglich durch den Einsatz von
Messgeräten mit analogem Ausgang (0 - 10 V);
z.B. THERMOVAC TM 21
4
2
1000
500
0
0.01
0.1
1
10
100
1000
Einlassdruck / mbar
Strom-/Leistungsaufnahme gegen Einlassdruck für die ECODRY M 15 bis 30
11 C03
ECODRY M 15
Technische Daten, 50 Hz
ECODRY M 20
3 Phasen-Motor
FC-Motor 1)
Anzahl Zylinder
3
3
3
3
Anzahl Pumpstufen
3
3
2
2
14
16
–
–
–
–
–
11
15
16
19
22
–
–
–
–
–
14
18
22
mbar
5,5 · 10-2
–
8,0 · 10-1
–
mbar
–
5,5 · 10-2
–
8,0 · 10-1
Atmosphärendruck
Atmosphärendruck
Atmosphärendruck
Atmosphärendruck
3 Phasen-Motor
FC-Motor 1)
Max. Saugvermögen
bei 0750 min-1
bei 1000 min-1
bei 1200 min-1
50 Hz 2)
60 Hz 2)
50/60 Hz 2)
50/60 Hz 2)
50/60 Hz 2)
Endtotaldruck) 3)
3 Phasen-Motor
60 Hz
FC-Motor 1) bei 1000 min-1
50/60 Hz
m3
m3
m3
m3
m3
·
·
·
·
·
h-1
h-1
h-1
h-1
h-1
Max. zulässiger Einlassdruck
Max. zulässiger DauerEinlassdruck
mbar
100
100
100
100
Wasserdampf-Verträglichkeit
(mit vollem Gasballast)
mbar
25
25
25
25
Leckrate (integral)
mbar · l ·
Leistungsaufnahme
bei < 10 mbar Einlassdruck
Motore
3 Phasen (IP 54)
50 Hz
60 Hz
FC-Motor, 50/60 Hz (IP 44)
s-1
W
ⱕ1·
10-4
300
ⱕ1·
10-4
280
- 5% bis + 5%
ⱕ1·
10-4
300
ⱕ 1 · 10-4
280
- 5% bis + 5%
220-240/346-415
200-277/380-480
–
–
–
90-264
220-240/346-415
200-277/380-480
–
–
–
90-264
min-1
min-1
1000 / 1200
–
–
750/1000/1200
1000 / 1200
–
–
750/1000/1200
min-1
–
750-1200, variabel
–
750-1200, variabel
ⱕ 59
ⱕ 59
ⱕ 59
ⱕ 59
°C
0 bis + 50
0 bis + 50
0 bis + 50
0 bis + 50
Anschlüsse
Saugseitig
Auspuffseitig
DN
DN
25 KF
25 KF
25 KF
25 KF
25 KF
25 KF
25 KF
25 KF
Abmessungen (B x H x T)
Standardausführung,
Anschlüsse motorseitig
mm
mm
545 x 182 x 356
545 x 356 x 211
598 x 182 x 356
598 x 356 x 211
545 x 182 x 356
545 x 356 x 211
598 x 182 x 356
598 x 356 x 211
40,5
47,0
40,5
47,0
Motor-Drehzahl
mit 3 Phasen-Motor 50 / 60 Hz
mit FC-Motor
50 / 60 Hz
über Analog-Interface 0-10 V
50 / 60 Hz
V
V
V
Geräuschpegel bei Enddruck
ohne Gasballast (50 Hz bei 3 Phasen
und 750 min-1 bei FC-Motor)
dB(A)
Zulässige Umgebungstemperatur
Gewicht, ca.
1)
2)
3)
kg
FC-Motor = Frequency Controlled Motor
Nach DIN 28400 ff
Bei Auslieferung
C03 12
ECODRY M 30
Technische Daten, 50 Hz
3 Phasen-Motor
FC-Motor
1)
Anzahl Zylinder
4
4
Anzahl Pumpstufen
3
3
27
30
–
–
–
–
–
19
25
30
mbar
5,5 · 10-2
–
mbar
–
5,5 · 10-2
Atmosphärendruck
Atmosphärendruck
100
100
25
25
Max. Saugvermögen
bei 0750 min-1
bei 1000 min-1
bei 1200 min-1
50 Hz 2)
60 Hz 2)
50/60 Hz 2)
50/60 Hz 2)
50/60 Hz 2)
Endtotaldruck 3)
3 Phasen-Motor
60 Hz
FC-Motor 1) bei 1000 min-1
50/60 Hz
Max. zulässiger Einlassdruck
Max. zulässiger DauerEinlassdruck
m3
m3
m3
m3
m3
·
·
·
·
·
h-1
h-1
h-1
h-1
h-1
mbar
Wasserdampf-Verträglichkeit
(mit vollem Gasballast) mbar
Leckrate (integral)
mbar · l ·
s-1
Leistungsaufnahme
bei < 10 mbar Einlassdruck
W
ⱕ1·
10-4
450
ⱕ 1 · 10-4
330
- 5% bis + 5%
Motore
3 Phasen (IP 54)
50 Hz
60 Hz
FC-Motor, 50/60 Hz (IP 44)
220-240/346-400
200-277/380-480
–
–
–
90-264
min-1
min-1
1000 / 1200
–
–
750/1000/1200
min-1
–
750-1200, variabel
ⱕ 59
ⱕ 59
°C
0 bis + 50
0 bis + 50
Anschlüsse
Saugseitig
Auspuffseitig
DN
DN
25 KF
25 KF
25 KF
25 KF
Standardausführung,
Anschlüsse motorseitig
mm
mm
709 x 182 x 369
709 x 369 x 211
713 x 182 x 369
713 x 369 x 211
53
59
Motor-Drehzahl
mit 3 Phasen-Motor 50 / 60 Hz
mit FC-Motor
50 / 60 Hz
über Analog-Interface 0-10 V
50 / 60 Hz
V
V
V
Geräuschpegel bei Enddruck
ohne Gasballast (50 Hz bei 3 Phasen
und 750 min-1 bei FC-Motor)
dB(A)
Zulässige Umgebungstemperatur
Gewicht, ca.
1)
2)
3)
kg
Nach DIN 28400 ff
Bei Auslieferung
13 C03
Bestelldaten
ECODRY M 15
3 Phasen-Motor
FC-Motor
1)
ECODRY M 15
3 Phasen-Motor
FC-Motor, 90 - 264 V
FC-Motor, 90 - 264 V und Schallschutz-Haube
Kat.-Nr. 130 000
–
–
–
Kat.-Nr. 130 005
Kat.-Nr. 130 006
Kat.-Nr. 130 050
Kat.-Nr. 130 050
Schwingfüße (Set à 4 Stück)
Kat.-Nr. 130 051
Kat.-Nr. 130 051
Kat.-Nr. 130 052
Kat.-Nr. 130 052
Kat.-Nr. 169 50
Kat.-Nr. 169 50
Bestelldaten
ECODRY M 20
3 Phasen-Motor
ECODRY M 20
3 Phasen-Motor
FC-Motor
1)
Kat.-Nr. 130 010
–
–
–
Kat.-Nr. 130 015
Kat.-Nr. 130 016
Kat.-Nr. 130 050
Kat.-Nr. 130 050
Kat.-Nr. 130 051
Kat.-Nr. 130 051
Kat.-Nr. 130 052
Kat.-Nr. 130 052
Kat.-Nr. 169 50
Kat.-Nr. 169 50
Bestelldaten
ECODRY M 30
3 Phasen-Motor
FC-Motor
1)
ECODRY M 30
3 Phasen-Motor
Kat.-Nr. 130 030
–
–
–
Kat.-Nr. 130 033
Kat.-Nr. 130 034
Kat.-Nr. 130 050
Kat.-Nr. 130 050
Kat.-Nr. 130 051
Kat.-Nr. 130 051
Kat.-Nr. 130 052
Kat.-Nr. 130 052
Kat.-Nr. 169 50
Kat.-Nr. 169 50
1)
C03 14
Notizen
15 C03
Zubehör ECODRY M
Schallschutz-Haube (Nachrüst-Satz)
- Integrierter Zusatzlüfter – die verbesserten Temperaturbedingungen
verlängern die Nutzungsdauer zwischen 2 Wartungen bzw. die Wartungsintervalle
- Verringerung des Lärmpegels um
bis zu 9 dB(A), unabhängig von der
Betriebsart
– < 50 db(A) bei M 15
mit 750 U/min 1)
– < 53 db(A) bei M 30
mit 750 U/min 1)
– < 59 db(A) bei M 30
mit 1200 U/min 1)
- Mit Laufrollen und Füßen für Mobilität und Stabilität
- Auch zum Nachrüsten für schon
vorhandene Pumpen erhältlich
- Benutzerfreundlich – alle Bedienelemente sind von außen zugänglich, Zubehör kann von außen angeschlossen werden
- Universell – geeignet für alle Modelle
also auch jene, die mit einem WeltMotor ausgerüstet sind
Schallschutz-Haube
- Integrierte Schwingungsdämpfer
Schallschutz-Haube
Technische Daten
828 x 280 x 474
mm
Gewicht (nur Schallschutz-Haube)
10
kg
Bestelldaten
Schallschutz-Haube
Kat.-Nr. 130 056 2)
Schallschutz-Haube 2)
Kabelsatz zur Universal Schallschutz-Haube
für FC-Motor
für 3 Phasen Drehstrom-Motor
für 1 Phasen Motor
1)
2)
Kat.-Nr. 130 057
Kat.-Nr. 130 058
Kat.-Nr. 130 059
Bei Enddruck-Betrieb
Achtung: Zusätzlich Kabelsatz notwendig (abhängig vom Motor)
70,0
65,0
Geräuschpegel dB (A)
1200 U/min
1000 U/min
750 U/min
67,0
66,1
64,0
62,6
60,0
59,0
58,6
< 59
< 57
< 57
55,0
< 54
50,0
< 53
< 50
45,0
M 15/20 ohne
Schallschutz-Haube
M 15/20 mit
Schallschutz-Haube
M 30 ohne
Schallschutz-Haube
M 30 mit
Schallschutz-Haube
Geräuschpegel der ECODRY M 15, 20 und 30 mit FC-Motor (mit und ohne Schallschutz-Haube) bei Enddruck-Betrieb
C03 16
Der Geräuschpegel der ECODRY M ist
ähnlich dem ölgedichteter DrehschieberVakuumpumpen und setzt bei trockenverdichtenden Vakuumpumpen neue
Maßstäbe.
Wenn keine Auspuff-Leitung notwendig
ist, kann dieser einfache AuspuffSchalldämpfer eingesetzt werden,
sofern ausschließlich Inert- oder
Permanent-Gase gefördert werden.
Die Installation erfolgt durch Austausch des Auspuff-Stutzens gegen
den Auspuff-Schalldämpfer.
Technische Daten
Abmessungen (l x h)
mm
Bestelldaten
48 x 122
Kat.-Nr. 130 050
Schwingfüße
Die Vibrationen der ECODRY M sind,
bedingt durch die innovative KolbenAnordnung, grundsätzlich gering.
Für schwingungssensible Anwendungen sind, zur Schwingungs-Entkopplung der Aufstell-Fläche, diese
Schwingfüße erhältlich.
Schwingfuß
Schwingfüße
Technische Daten
Montagebohrungsdurchmesser
mm
6,5
Abstand zwischen den
Montagebohrungsdurchmessern
mm
76
Bestelldaten
Schwingfüße
Schwingfüße, Satz à 4 Stück
Kat.-Nr. 130 051
17 C03
Dieser Schwingungs-Absorber-Satz
wurde speziell für Kunden-Anwendungen entwickelt, die höchste Ansprüche
an eine Schwingungs-Freiheit stellen,
wie z.B. in der Analysen-Technik.
Der Schwingungs-Absorber-Satz reduziert die an die Aufstell-Fläche und die
Saug-Leitung abgegebenen Vibrationen auf ein Level deutlich unter dem
einer Drehschieber-Vakuumpumpe.
Technische Daten
Abmessungen (L x B x H)
Gewicht, ca.
Bestelldaten
C03 18
mm
kg
440 x 315 x 70
4,7
Kat.-Nr. 130 052
Das elektromagnetische GasballastVentil ermöglicht dem Kunden, im Falle
des Abpumpens kondensierbarer
Medien, einen präventiven Betrieb mit
Gasballast.
Es kann wahlweise mit Raumluft, sowie mit Inertgasen, wie z. B. N2 betrieben werden.
Hierzu ist eine Anschluss-Möglichkeit
für eine PVC-Schlauchleitung l 6 x
1 mm vorhanden.
Das Ventil ist „stromlos offen“ und
kann somit als Permanent-Gasballast
eingesetzt werden.
Im Falle einer zyklischen GasballastZufuhr benötigt das elektromagnetische Gasballast-Ventil eine SteuerSpannung von 24 V DC.
Anbau des elektromagnetischen Gasballast-Ventiles
- Niedriger Verbrauch von Inertgas
- Schutz vor Kondensation in der
Pumpe
- Einsetzbar an allen ECODRY MVersionen
- Keine Kontaminierung durch
Raumluft (bei Verwendung von
Inertgas)
Gasballast-Ventil
Technische Daten
Steuerspannung
Zulässiger Inertgas-Druck, absolut
V DC
bar
Inertgas-Anschluss
Inertgas-Menge
24
1 bis 4
Schlauch-Anschluss für PVC-Schlauch l 6 x 1
m3 · h-1
Bestelldaten
0,10 bis 0,55
Gasballast-Ventil
Kat.-Nr. 169 50
19 C03
Vertriebs- und Servicenetz
Deutschland
Europa
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
Bonner Straße 498
D-50968 Köln
Tel.: +49-(0)221-347 1234
Fax: +49-(0)221-347 1245
[email protected]
www.oerlikon.com
Belgien
Oerlikon
Leybold Vacuum Nederland B.V.
Belgisch bijkantoor
Leuvensesteenweg 542-9A
B-1930 Zaventem
Sales:
Tel.: +32-2-711 00 83
Fax: +32-2-720 83 38
[email protected]
Service:
Tel.: +32-2-711 00 82
Fax: +32-2-720 83 38
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
VB Nord/Nordost
Niederlassung Berlin
Industriestraße 10b
D-12099 Berlin
Tel.: +49-(0)30-435 609 0
Fax: +49-(0)30-435 609 10
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
VB Süd/Südwest
Niederlassung München
Karl-Hammerschmidt-Straße 34
D-85609 Aschheim-Dornach
Tel.: +49-(0)89-357 33 9-10
Fax: +49-(0)89-357 33 9-33
[email protected]
service.vacuum.mn
@oerlikon.com
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
VB West & Benelux
Niederlassung Köln
Bonner Straße 498
D-50968 Köln
Tel.: +49-(0)221-347 1270
Fax: +49-(0)221-347 1291
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
Service Competence Center
Emil-Hoffmann-Straße 43
D-50996 Köln-Sürth
Tel.: +49-(0)221-347 1439
Fax: +49-(0)221-347 1945
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
Mobil Customer Service
Emil-Hoffmann-Straße 43
D-50996 Köln-Sürth
Tel.: +49-(0)221-347 1765
Fax: +49-(0)221-347 1944
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum
Dresden GmbH
Service Competence Center
Zur Wetterwarte 50, Haus 304
D-01109 Dresden
Service:
Tel.: +49-(0)351-88 55 00
Fax: +49-(0)351-88 55 041
[email protected]
Frankreich
Oerlikon
Leybold Vacuum France S.A.
7, Avenue du Québec
Z.A. de Courtaboeuf 1 - B.P. 42
F-91942 Courtaboeuf Cedex
Sales und Service:
Tel.: +33-1-69 82 48 00
Fax: +33-1-69 07 57 38
[email protected]
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum France S.A.
Valence Factory
640, Rue A. Bergès
B.P. 107 640
F-26501 Bourg-lès-Valence Cedex
Tel.: +33-4-75 82 33 00
Fax: +33-4-75 82 92 69
[email protected]
Großbritannien
Oerlikon
Leybold Vacuum UK LTD.
Silverglade Business Park
Leatherhead Road Unit 2
KT9 2QL Chessington, Surrey
(London)
Sales:
Tel.: +44-13-7273 7300
Fax: +44-13-7273 7301
[email protected]
Service:
Tel.: +44-13-7273 7320
Fax: +44-13-7273 7303
[email protected]
Italien
Oerlikon
Leybold Vacuum Italia S.r.l.
Via Trasimeno 8
I-20128 Mailand
Sales:
Tel.: +39-02-27 22 31
Fax: +39-02-27 20 96 41
[email protected]
Service:
Tel.: +39-02-27 22 31
Fax: +39-02-27 22 32 17
[email protected]
Schweiz
Oerlikon
Leybold Vacuum Schweiz AG
Leutschenbachstrasse 55
CH-8050 Zürich
Sales:
Tel.: +41-44-308 40 50
Fax: +41-44-302 43 73
[email protected]
Service:
Tel.: +41-44-308 40 62
Fax: +41-44-308 40 60
[email protected]
Spanien
Oerlikon
Leybold Vacuum Spain, S.A.
C/ Huelva 7
E-08940 Cornellà de Llobregat
(Barcelona)
Sales:
Tel.: +34-93-666 43 11
Fax: +34-93-666 43 70
[email protected]
Service:
Tel.: +34-93-666 46 16
Fax: +34-93-685 43 70
[email protected]
Amerika
USA
Oerlikon
Leybold Vacuum USA Inc.
5700 Mellon Road
USA-Export, PA 15632
Tel.: +1-724-327-5700
Fax: +1-724-325-3577
[email protected]
Sales:
Eastern & Central time zones
Tel.: +1-724-327-5700
Fax: +1-724-333-1217
Pacific, Mountain, Alaskan &
Hawaiian time zones
Tel.: +1-480-752-9191
Fax: +1-480-752-9494
Service:
Tel.: +1-724-327-5700
Fax: +1-724-325-3577
Lateinamerika
Oerlikon
Leybold Vacuum USA Inc.
Brazilian Office
Av. Dória 360 cj. 12 Campo Belo
04635-070 São Paulo SP BRAZIL
Sales:
Tel.: +55 11-3554 3117
Fax: +55 11-3554 3117
[email protected]
LV_09524_2008
09.08
Niederlande
Oerlikon
Leybold Vacuum Nederland B.V.
Proostwetering 24N
NL-3543 AE Utrecht
Sales und Service:
Tel.: +31-(30) 242 6330
Fax: +31-(30) 242 6331
[email protected]
[email protected]
Asien
Schweden
Oerlikon
Leybold Vacuum Scandinavia AB
Box 9084
SE-40092 Göteborg
Sales und Service:
Tel.: +46-31-68 84 70
Fax: +46-31-68 39 39
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[email protected]
Besuchs-/Lieferadresse:
Datavägen 57B
SE-43632 Askim
Oerlikon
Leybold Vacuum GmbH
Bonner Straße 498
D-50968 Köln
Tel.: +49-(0)221-347 0
Fax: +49-(0)221-347 1250
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Volksrepublik China
Oerlikon
Leybold Vacuum (Tianjin)
International Trade Co. Ltd.
Beichen Economic
Development Area (BEDA),
No.8 Western Shuangchen Road
Tianjin 300400
China
Sales und Service:
Tel.: +86-22-2697 0808
Fax: +86-22-2697 4061
Fax: +86-22-2697 2017
[email protected]
[email protected]
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum
(Tianjin) Co. Ltd.
Beichen Economic
Development Area (BEDA),
No.8 Western Shuangchen Road
Tianjin 300400
China
Sales und Service:
Tel.: +86-22-2697 0808
Fax: +86-22-2697 4061
[email protected]
[email protected]
[email protected]
Oerlikon
Shanghai Branch:
No.33
76 Fu Te Dong San Road
Waigaoqiao Free Trade Zone
Shanghai 200131
China
Sales und Service:
Tel.: +86-21-5064-4666
Fax: +86-21-5064-4668
[email protected]
[email protected]
[email protected]
Oerlikon
Guangzhou Office and
Service Center
1st F, Main Building
Science City Plaza,
No.111 Science Revenue,
Guangzhou Science City
(GZSC) 510663, Guangzhou,
China
Sales und Service:
Tel.: +86-20-223 23 980
Fax: +86-20-223 23 990
[email protected]
[email protected]
[email protected]
Japan
Oerlikon
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Headquarter
23-3, Shin-Yokohama
3-chome
Tobu A.K. Bldg. 4th Floor
Kohoku-ku
Yokohama-shi 222-0033
Sales:
Tel.: +81-45-471-3330
Fax: +81-45-471-3323
[email protected]
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Osaka Sales Office
3F, Shin-Osaka Terasaki
No.3 Bldg.
1-5-28 Nishi-Miyahara
Yodogawa-ku, Osaka-shi
Osaka 532-0004
Tel.: +81-6-6399-6271
Fax: +81-6-6399-6273
[email protected]
[email protected]
Oerlikon
Leybold Vacuum
Japan Co., Ltd.
Tsukuba Technical Service Center
Kogyo Danchi
21, Kasuminosato,
Ami-machi, Inashiki-gun
Ibaraki-ken, 300-0315
Service:
Tel.: +81-298 89 2841
Fax: +81-298 89 2838
[email protected]
[email protected]
Süd-Korea
Oerlikon
Leybold Vacuum Korea Ltd.
3F. Jellzone 2 Tower
Jeongja-dong 159-4
Bundang-gu Sungnam-si
Gyeonggi-do
Bundang 463-384, Korea
Sales:
Tel.: +82-31 785 1367
Fax: +82-31 785 1359
[email protected]
Service:
623-7, Upsung-Dong
Cheonan-Si
Chungcheongnam-Do
Korea 330-290
Tel.: +82-41 589 3035
Fax: +82-41 588 0166
[email protected]
Oerlikon
Beijing Branch:
1-908, Beijing Landmark Towers
8 North Dongsanhuan Road
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Trockenverdichtende Vakuumpumpen

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