R4i VERTEILER-KONZEPT

N EU
R4i
VERTEILER-KONZEPT
Ein neuer Ansatz
für Halbleiterinstallationen
GEWÄHRLEISTET HÖCHSTE
OBERFLÄCHENQUALITÄT
„Ready for Installation“:
das installationsfertige
R4i-Verteiler-Konzept
Der R4i-Verteiler wurde entwickelt um alle UHPAnforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen.
Die vorgefertigten Verteiler werden ausgehalst und
anschließend im Reinraum der Klasse 10 verschweißt,
getestet und verpackt. Die vier internationalen Fertigungsstandorte der Kooperation zwischen Carten
Controls, Dockweiler und Evans Components gewährleisten schnelle und kostengünstige Lieferungen weltweit. Der Einsatz von R4i-Verteilern reduziert den gesamten Abnahmeprozess der Installation durch eine
schnellere Trocknungszeit und verminderter Partikel.
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DA S N E U E R4 I -V E RTE I L E R- KO NZE P T
„Pyramid“ – die
Produktionskooperation für
die Halbleiterindustrie:
Das R4i-Verteiler-Konzept bündelt das Know-how der
Ventilhersteller „Carten“ und „Evans“ in Kombination
mit Edelstahl-Rohrsytemen von Dockweiler.
Die Vorteile des R4i-Verteiler-Konzepts:
A CARTEN DOCKWEILER EVANS COOPERATION
- maßgeschneiderte Lösung für die Halbleiterindustrie
- vollständig UHP-zertifiziert
- 100% Helium-Leck getestet: 1x10-9 scc/sec
- Orbitalschweißnähte für höchste Qualität
- 3D-Daten zur Konstruktionsplanung
-w
eltweite und schnelle Lieferung
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EINFACH ÜBERZEUGEND!
EIGENSCHAFTEN, FUNKTION
UND NUTZEN:
R4i-Verteiler werden für Bulkgas-Versorgungssysteme
fertigt. Typische Verteilerlängen liegen zwischen 6,00
verwendet. Vorgefertigte Verteiler sind aber auch für
m und 7,50 m (24 ft) mit Abgängen z. B. für Ventile und
CFOS und andere Gasversorgungssysteme erhältlich.
Kugelhähne, die den direkten Anschluss sämtlicher
Kundenspezifische Längen und die Anzahl an Ven-
Geräte und Zubehör ermöglichen.
tilen werden entsprechend der Planungsvorgaben ge-
Die Vorteile auf einen Blick:
DATENBLATT
• verbesserte Trocknungszeiten
•g
eringere Kosten der Qualitätsprüfung, Sägen,
Facen, Vorbereitungsarbeiten
• v ormontiert, getestet und installationsbereit verpackt
in kontrollierter Reinraumumgehbung (Klasse 10)
ROHR
Material
1.4404 / 1.4435 / UNS 31603 (316L)
• SEMI-konforme Spezifikation (UHP)
Abmessungen
1
/2" bis 6", weitere Abmessungen auf Anfrage
•w
eniger Schweißnähte (bis zu 65 %) und geringere
Oberflächenoptionen
Ventilkosten (bis zu 80 % ) im Vergleich zu
integrierten Blockventilen
• reduzierte Gesamtkosten der Installation (20-30 %)
• reduziertes Gewicht
4
ultron
Innenoberfläche:
TCC
Innenoberfläche:
Ra 0,25 µm
Ra-Werte sind nicht definiert
Verteiler mit SPDS755 Ventil
Verteiler mit SPDS1000 Durchgangsventil
VENTILE
VERTEILER
Type
Carten Membranventil
Type SPDS250, SPDS375, SPDS500, SPDS755, SPDS751,
SPDS1000
Mehrere Konfigurationen und Ausrichtungen möglich
Maximale Länge
7,3 m / 24 ft.
Abmessungen
1
/4" bis 1"
Handradfarbe
Weiß (standard), farbige Handräder auf Anfrage
Luftbetriebene Ventile verfügbar auf Anfrage
Schweißen gem.
• SEMI F78-0611
• SEMI F81-0611
Tests / Dokumentation
Lecktest:
100% Helium-Leck-Test 1 x 10 - 9 scc / sec
Schweißprotokoll
Material-Zertifikate
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HOW-TO-ORDER
ARTIKELNUMMERN-GENERATOR
MATERIAL
ABMESSUNG VENTILABZWEIG
ABMESSUNG DURCHGANGSROHR
1
2
3
Art.-Nr.
Spezifikation
Beschreibung
Art.-Nr.
Abmessung
Art.-Nr.
Nennweite
UL
Ultron
316L EP
04
1
/4"
08
1
TC
TCC
316L nicht EP
08
1
/2"
12
3
12
3
/4"
16
1"
16
1"
24
1 1/2"
32
2"
40
2 1/2"
48
3"
64
4"
96
6"
/2"
/4"
CARTEN MEMBRANVENTIL-TYP
ANZAHL DER ANSCHLÜSSE
ANSCHLUSS VENTILAUSGANG
4
5
6
Art.-Nr.
Ventil
Eingang x Aus gang CV
SP250
SPDS250
SP375
SPDS375
SP500
SPDS500
1
SP755
SPDS755
3
SP755
SPDS755
3
SP751
SPDS751
3
SP1000
SPDS1000
Gesamtanzahl Ventile
Art.-Nr.
Anschluss
Beispiel: 6 = 6 Anschlüsse
FV
Female Face Seal
/8" x /4"
0.41
/8" x /4" high flow
0.64
MV
Male Face Seal
/2" x /2"
2.81
FVP
Female Face Seal mit Stecker
/4" x /2"
3.10
MVC
Male Face Seal mit Deckel
/4" x /4"
3.44
TS
Rohrstutzen
/4" x 3/4"
7.00
TSC
Rohrstutzen mit
Klemmringverschraubung
1" x 1"
7.00
DWC
Dockweiler Cap
WC
Standard Rohrstutzen mit Schweißkappe
3
1
3
1
1
1
3
SPÜLANSCHLUSS OPTIONEN
LÄNGE DES VERTEILERS
OPTIONEN
7
8
9
Art.-Nr.
Option
Gesamtlänge in Zoll 288" (7,3 m)
Art.-Nr.
Optionen
XX
kein Spülanschluss
Beispiel: 72 würde anzeigen
6 ft (1,83 m)
LO
Handradbetätigungsschutz
**
erste beiden Buchstaben definieren
die Farbe des Handrads
(weiß ist Standard)
(Beispiel: BL = blau)
PC1
nachgelagerter Spülanschluss
PC2
vorgelagerter/nachgelagerter
Spülanschluss
Art-Nr.:
6
1
2
3
4
5
6
7
8
9
UL -
08 -
12 -
SP375 -
8-
MV -
XX -
60 -
YE
FÜR HÖCHSTE ANSPRÜCHE
AN QUALITÄT UND REINHEIT
Die Dockweiler AG, Carten Controls (USA & Irland) und
ternehmen werden weitere Produkte entwickelt und
Evans Components Inc. (USA) sind führende Anbieter
vertrieben, die den höchsten Ansprüchen an Qualität
für die Halbleiter- und Pharmaindustrie sowie weit-
und Reinheit gerecht werden.
ere High-Tech-Bereiche weltweit. Von elektropolierten
Edelstahlrohrsystemen über hochreine Kugelhähne
So ergänzten Carten Controls, Dockweiler AG und
bis hin zu einer kompletten Baureihe an UHP-Ventilen
Evans Components Inc. unter der PYRAMID Gruppe ihre
werden sämtliche gängigen Industriespezifikationen
Produktpalette durch die Entwicklung von vorgefer-
abgedeckt. Durch die enge Zusammenarbeit der Un-
tigten Verteilern mit Membranventilen erweitern.
Hersteller von UHP-Ventile für die
Halbleiter- und FPD-Industrie
Anbieter von UHP-Rohr- und Fittingen sowie
Spezialist für komplexe Schweißungen
EVANS
COMPONENTS, INC
®
Hersteller von speziellen
UHP, CFOS & PCW Ventilen
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Ihr Ansprechpartner
Dockweiler AG
An der Autobahn 10/20
19306 Neustadt-Glewe
Deutschland
Tel.: + 49 38757 58 0
Fax: + 49 38757 58 222
E-Mail:[email protected]
Internet:www.dockweiler.com
07/2015